|
Citation:
|
ŠVORČÍK, V., KVÍTEK, O., ŘÍHA, J., KOLSKÁ, Z., SIEGEL, J. Nano-structuring of sputtered gold layers on glass by annealing. Vacuum, 2012, roč. 86, č. 6, s. 729-732. ISSN: 0042-207X
|
|
Type:
|
ČLÁNEK
|
|
Language:
|
eng
|
|
English title:
|
Nano-structuring of sputtered gold layers on glass by annealing
|
|
Publication year:
|
2012
|
|
Authors:
|
Ing. Jan Říha
,
Ing. Jan Říha
|
|
Abstract CZ:
|
V příspěvku byla studována krystalová struktura a povrchová morfologie zlatých nano-struktur, připravených naprašováním na skleněný substrát. Vlastnosti těchto vrstev byly určovány při pokojové teplotě a po žíhání při 300°C. RTG difrakční analýza poskytla informace o strukture zlatých vrstev. Byly nalezeny výrazné rozdíly v závislosti mřížkového parametru zlata na době depozice jak u vzorků po depozci ve výchozím stavu, tak i u žíhaných. RTG difrakcí byla rovněž určena přednostní orientace struktury, velikosti krystalitů a mřížková napětí. S rostoucím časem depozice roste jak tloušťka vrstev, tak také velikost krystalitů. Další výrazný nárůst velikosti krystalitů byl pozorován po žíhání. U vzorků ve výchozím stavu po depozici je hodnota velikosti mikrodeformace krystalové mřížky závislá na tloušťce struktury. Po žíhání je, nicméně, mikrodeformace prakticky konstantní bez ohledu na dobu depozice. Na obou typech vzorků, po depozici ve výchozím stavu i u žíhaných, jsou krystaly orientovány do směru [111]. Po žíhání byly pozorovány výrazné změny v porchové morfologii struktury a dramatický nárůst povrchové drsnosti vlivem relaxace struktury na vysoké teplotě.
|
|
Abstract EN:
|
The crystalline structure and surface morphology of gold nano-structures prepared by sputtering on a glass substrate are studied. The properties of the gold nano-structures were determined at room temperature and after annealing at 300 °C. XRD analysis provided information about the gold crystalline structure. Significant difference in the dependence of the lattice parameter on the sputtering time was found between the as-sputtered and annealed samples. By the XRD method the texture, crystallite size and lattice stress were also determined. With increasing sputtering time the layer thickness and the size of crystallites increased. Another rapid enlargement of the crystallites is observed after annealing. On the as-sputtered samples the value of micro-deformation depends on the structure thickness. After annealing, however, the micro-deformation is nearly constant regardless of the sputtering time. On both, the as-sputtered and the annealed samples the gold crystallites are preferentially [111] oriented. After the annealing significant changes in the structure surface morphology and a dramatic increase of the surface roughness are observed due to a structure relaxation at increased temperature.
|
|
Keywords
|
|