Systémy pro vývoj nových materiálů a měření jejich vlastností
Depoziční technika
- aparatura TF 600 BOC Edwards na depozici tenkých vrstev naprašováním a napařováním elektronovým paprskem, vybavena dvěma magnetrony DC a RF a čtyřkelímkovým odpařovačem pro elektronový paprsek.
- aparatura na plazmou podporovanou chemickou depozici SAMCO PD 220NA s možností vytváření vrstev sloučenin obsahujících křemík a amorfní hydrogenizovaný křemík
Analytická technika
- automatický práškový difraktometr AXS Bruker D8 Discover s plošným, pozičně citlivým detektorem, polykapilárou a Eulerovou kolébkou.
- automatický práškový difraktometr Panalytical X’Pert PRO s rychlým lineárním polovodičovým detektorem PIXcel, přípravkem na měření tenkých vrstev a vysokoteplotní komorou Anton Paar HTK 1200 N
- vlnově disperzní fluorescenční RTG spektrometr AXS Bruker S4 Explorer
- řádkovací elektronový mikroskop FEI Quanta 200 s vlnově disperzním a energiově disperzním detektorem
- nanoIndentor XP se systémem CSM (Continuous Stiffness Measurement) a Berkovičovým indentorem
- optický inverzní metalografický mikroskop Nikon Epiphot 200 se softwarem pro obrazovou analýzu LUCIA G od firmy Lim
- infračervený spektrometr s Fourierovou transformací NICOLET 380 s přípravkem Smart SAGA na měření ultratenkých vrstev (~ 10nm)
- UV VIS spektrofotometr SPECORD 210 s integrační sférou a přípravkem na absolutní reflektanci
- vysokoteplotní tribometr CSEM s metodou Pin-on-disc a možností měření do teploty 800°C
- profilometr MOMMEL T 1000
- zařízení na měření rezistivity materiálů a typu vodivosti polovodičů s čtyřsondovou lineární i kvadratickou hlavou, vybavené měřícími přístroji firmy Keithley