Přejít k obsahu


Diagnostics of grid-assisted magnetron sputtering using energy-resolved mass spectroscopy

Citace: [] KUDLÁČEK, P., VLČEK, J., HOUŠKA, J., HAN, J., JUNG, M., KIM, Y. Diagnostics of grid-assisted magnetron sputtering using energy-resolved mass spectroscopy. In ISPC 17. Toronto: University of Toronto, 2005. s. 1-5.
Druh: STAŤ VE SBORNÍKU
Jazyk publikace: eng
Anglický název: Diagnostics of grid-assisted magnetron sputtering using energy-resolved mass spectroscopy
Rok vydání: 2005
Místo konání: Toronto
Název zdroje: University of Toronto
Autoři: Pavel Kudláček , Jaroslav Vlček , Jiří Houška , J.G. Han , Min. J. Jung , Yong M. Kim
Abstrakt CZ: Hmotnostní spektroskopie s energiovýn rozlišením byla použita ke studiu rozdílů v charakteristikách iontů dopadajících na substrát během konvenčního a mřížkově-asistovaného magnetronového naprašování, které bylo navrženo pro depozici vrstev s hustou mikrostrukturou a malou drsností.
Abstrakt EN: Energy-resolved mass spectroscopy was used to study differences in ion bombardment characteristics during conventional reactive magnetron sputtering and a grid-assisted magnetron sputtering proposed for deposition of films with a dense microstructure and smooth surface.
Klíčová slova

Zpět

Patička