Přejít k obsahu


Optická emisní spektroskopie výbojového plazmatu při vytváření povrchových vrstev

Citace: [] BĚLSKÝ, P. Optická emisní spektroskopie výbojového plazmatu při vytváření povrchových vrstev. Plzeň : 2005,
Druh: KNIHA
Jazyk publikace: cze
Rok vydání: 2005
Místo konání: Plzeň
Autoři: Petr Bělský
Abstrakt CZ: Práce se zabývá diagnostikou plazmatu pomocí optické emisní spektroskopie. Metoda byla aplikována jednak na nitridaci oceli v mikrovlnném výboji s elektronovou cyklotronovou rezonancí a jednak na vysokorychlostní pulzní magnetronové naprašování mědi při vysoké výkonové zátěži terče.
Abstrakt EN:
Klíčová slova

Zpět

Patička