Přejít k obsahu


Předdepoziční procesy při výrobě tenkých vrstev

Citace: [] PODANÝ, P., KŘÍŽ, A. Předdepoziční procesy při výrobě tenkých vrstev. In Metal 2006. Ostrava: Tanger, 2006. s. 1-7. ISBN: 80-86840-18-2
Druh: STAŤ VE SBORNÍKU
Jazyk publikace: cze
Anglický název: PREDEPOSITION PROCESS OF THIN LAYERS
Rok vydání: 2006
Místo konání: Ostrava
Název zdroje: Tanger
Autoři: Pavel Podaný , Antonín Kříž
Abstrakt CZ: Tento článek navazuje na předchozí publikace věnující se problematice iontového čištění substrátu před depozicí tenké vrstvy a rozšiřuje svoje zaměření také na ostatní techniky používané při přípravě substrátu na depozici. V článku jsou popsány různé metody čištění substrátu se zaměřením na studia vlivu těchto procesů na výsledné vlastnosti systému tenká vrstva substrát. Článek zatím není souhrnem výsledků experimentů, pouze otevírá náhled do zatím málo analyzované oblasti předdepozičních procesů.
Abstrakt EN: This article connects on previous publications, related to the problematics of ion cleaning process before thin layer deposition and it extends the concentration on other technics used during the substrate preparation. There are described various methods of the substrate cleaning with the concentration on the study of its influence on the final properties of the thin layer-substrate system. The article is not the conclusion of experiments for the present, but it is only the extended view to the poorly analysed area of the predeposition processes.
Klíčová slova

Zpět

Patička