Přejít k obsahu


Hodnocení vlastností tenkých vrstev nitridu kovu

Citace: [] KŘÍŽ, A. Hodnocení vlastností tenkých vrstev nitridu kovu. In Vrstvy a povlaky 2003. Dubnica nad Váhom : ZTS-MATEC , 2003. s. 93-98. ISBN: 8096833715
Druh: STAŤ VE SBORNÍKU
Jazyk publikace: cze
Anglický název: Evaluation of properties of metal nitride thin films
Rok vydání: 2003
Místo konání: Dubnica nad Váhom
Název zdroje: ZTS-MATEC
Autoři: Antonín Kříž
Abstrakt CZ: Ve článku jsou uvedeny nejen některé úpravy metodik analyzující mechanické vlastnosti systému tenká vrstva substrát, ale i konkrétní výsledky různých typů tenkých vrstev na bázi nitridu kovu vytvořených depoziční metodou PVD.
Abstrakt EN: This article brings descriptions of some modifications to methodology of measuring mechanical properties of thin film-substrate systems. It also contains particular results concerning different types of thin films based on metal nitrides deposited with a PVD method.
Klíčová slova

Zpět

Patička