Přejít k obsahu


Mechanické vlastnosti nanokrystalických diamantových vrstev

Citace: [] BURŠÍKOVÁ, V., FRGALA, Z., JAŠEK, O., KARÁSKOVÁ, M., ZAJÍČKOVÁ, L., FRANTA, D., BURŠÍK, J., KLAPETEK, P., BLÁHOVÁ, O., MATĚJKOVÁ, J. Mechanické vlastnosti nanokrystalických diamantových vrstev . In Vrstvy a povlaky 2006. Trenčín: Digital graphic, 2006. s. 1-6. ISBN: 80-969310-2-4
Druh: STAŤ VE SBORNÍKU
Jazyk publikace: cze
Anglický název: Mechanical properties of nanocrystalline diamond thin films
Rok vydání: 2006
Místo konání: Trenčín
Název zdroje: Digital graphic
Autoři: Vilma Buršíková , Z. Frgala , O. Jašek , Mx Karásková , L. Zajíčková , D. Franta , J. Buršík , P. Klapetek , Olga Bláhová , J. Matějková
Abstrakt CZ: Cílem práce byla depozice nanostrukturovaných diamantových vrstev s malou drsností povrchu, vysokou tvrdostí a lomovou houževnatostí pomocí mikrovlné metody PECVD v reaktoru typu ASTEX ze směsi metanu a vodíku.
Abstrakt EN: The aim of present paper was to deposit nanostructured diamond films with low surface roughness, high hardness and fracture toughness by microwave PECVD in the ASTEX type reactor from mixture of methane and hydrogen.
Klíčová slova

Zpět

Patička