Přejít k obsahu


Termomechanická stabilita DLC/SiOx vrstev

Citace: [] BURŠÍKOVÁ, V., BURŠÍK, J., SŤAHEL, P., KLAPETEK, P., BLÁHOVÁ, O. Termomechanická stabilita DLC/SiOx vrstev. In Vrstvy a povlaky 2006. Trenčín: Digital graphic, 2006. s. 1-4. ISBN: 80-969310-2-4
Druh: STAŤ VE SBORNÍKU
Jazyk publikace: cze
Anglický název: Termomechanical stability of DLC/SiOx films
Rok vydání: 2006
Místo konání: Trenčín
Název zdroje: Digital graphic
Autoři: Vilma Buršíková , J. Buršík , P. Sťahel , P. Klapetek , Olga Bláhová
Abstrakt CZ: Hlavními nevýhodami amorfních DLC vrstev připravených metodou PECVD jsou jejich nízká termomechanická stabilita a vysoké vnitřní pnutí. V této práci bylo dosaženo zlepšení termomechanické stability pomocí inkorporace Si a O do karbonové sítě.
Abstrakt EN: The main disadvantages of amorphous diamond-like carbon films prepared using PECVD are their low thermomechanical stability and high compressive intrinsic stress. In the present work, substantial succes was achieved in the enhancement of the film´s thermo-mechanical stability by incorporating silicon and oxygen into the carbon network.
Klíčová slova

Zpět

Patička