Přejít k obsahu


Zinc Oxide - Unique Material for Micro- /Nanotechnology

Citace: [] FLICKYNGEROVÁ, S., NOVOTNÝ, I., TVAROŽEK, V., NIGROVIČOVÁ, M., ŠATKA, P., KOVÁČ, J., ŠUTTA, P., BRETERNITZ, V., SPIESS, L., KNEDLÍK, C. Zinc Oxide - Unique Material for Micro- /Nanotechnology. In Proceedings and our portrait. Ilmenau: Verlag ISLE, 2006. s. 1-11. ISBN: 3-938843-16-0
Druh: STAŤ VE SBORNÍKU
Jazyk publikace: eng
Anglický název: Zinc Oxide - Unique Material for Micro- /Nanotechnology
Rok vydání: 2006
Místo konání: Ilmenau
Název zdroje: Verlag ISLE
Autoři: Soňa Flickyngerová , Ivan Novotný , Vladimír Tvarožek , Martina Nigrovičová , P. Šatka , J. Kováč , Pavol Šutta , V. Breternitz , L. Spiess , Ch. Knedlík
Abstrakt CZ: Oxid zinečnatý (ZnO) je unikátní materiál s polovodivými, piezoelektrickými, pyroelektrickými a optoelektrickými vlastnostmi. ZnO je transparentní polovodič se šířkou zakázaného pásu 3,37 eV a velkou vazebnou energií (60 meV). Tenké vrstvy ZnO deponované naprašováním jsou ovlivněny při výrobě: a) bombardování terče energetickými iony, b) nízkoteplotní plazmou, c) povrchem substrátu a rostoucím filmem.
Abstrakt EN: Zinc oxide (ZnO) is a unique material that exhibits semiconducting, piezoelectric, pyroelectric and optoelectronic multiple properties. Zinc oxide is a transparent semiconductor with a direct bandgap of 3,37 eV and large excitation binding energy (60 meV). ZnO thin film deposition by sputtering is determined by complex processes proceeding: a) at the target bombarded by energetic ions, b) in the low-temperature plasma, c) on the surface of substrate and growing film.
Klíčová slova

Zpět

Patička