Přejít k obsahu


Gradient mřížkového napětí ve vrstvách ZnO:Al deponovaných naprašováním na skleněných podložkách

Citace: [] VAVRUŇKOVÁ, V., NETRVALOVÁ, M., ŠUTTA, P., NOVOTNÝ, I., TVAROŽEK, V. Gradient mřížkového napětí ve vrstvách ZnO:Al deponovaných naprašováním na skleněných podložkách. In Lokální mechanické vlastnosti 2006. Plzeň: Západočeská univerzita, 2006. s. 168-172. ISBN: 80-7043-512-7
Druh: STAŤ VE SBORNÍKU
Jazyk publikace: cze
Anglický název: Lattice stress gradient in ZnO:Al films sputtered on glass substrates
Rok vydání: 2006
Místo konání: Plzeň
Název zdroje: Západočeská univerzita
Autoři: Veronika Vavruňková , Marie Netrvalová , Pavol Šutta , Ivan Novotný , Vladimír Tvarožek
Abstrakt CZ: Zinc oxide is an attractive material with many applications in the microelectronics, especially in the domain of microsystem and photovolaic technology. Zinc oxide thin films doped by aluminium (ZnO:Al) are applying to solar cells as transparent conducive oxides (TCO). In this paper a simple method to determine the lattice stress gradients in ZnO films by using the X-ray diffraction (XRD) analysis of asymmetric line profiles is presented. XRD analysis indicated that lattice stress gradients in ZnO thin films depend on the deposition parameters and substrate material used.
Abstrakt EN: Zinc oxide is an attractive material with many applications in the microelectronics, especially in the domain of microsystem and photovolaic technology. Zinc oxide thin films doped by aluminium (ZnO:Al) are applying to solar cells as transparent conducive oxides (TCO). In this paper a simple method to determine the lattice stress gradients in ZnO films by using the X-ray diffraction (XRD) analysis of asymmetric line profiles is presented. XRD analysis indicated that lattice stress gradients in ZnO thin films depend on the deposition parameters and substrate material used.
Klíčová slova

Zpět

Patička