Přejít k obsahu


Ovlivnění substrátu slinutého karbidu iontovým bombardem před PVD depozicí tenkých vrstev

Citace: [] KŘÍŽ, A. Ovlivnění substrátu slinutého karbidu iontovým bombardem před PVD depozicí tenkých vrstev. In Metal 2004. Ostrava: Tanger, 2004. s. 1-8. ISBN: 80-85988-95-X
Druh: STAŤ VE SBORNÍKU
Jazyk publikace: cze
Anglický název: Impact of ion bombardment on a sintered carbide substrate prior to thin film PVD deposition
Rok vydání: 2004
Místo konání: Ostrava
Název zdroje: Tanger
Autoři: Antonín Kříž
Abstrakt CZ: Tento příspěvek svými experimenty navazuje na výsledky presentované na předchozí konferenci METAL 03 S ohledem na problematiku iontového bombardu slinutých karbidů byly zvoleny různé slinuté materiály lišící se chemickým složením a velikostí karbidických zrn. Tento pokračující příspěvek sleduje svými experimenty korelaci mezi stavem povrchu substrátu ovlivněného iontovým bombardem a výslednými vlastnostmi systému tvořeného vrstvou TiAlSiN. Opět je věnována pozornost materiálovému vlivu substrátu v souvislosti s chemickým složením a strukturou. Vlastnosti jsou popsány výsledky tribologické analýzy Pin-on-Disc, adhezivně-kohezivním chováním sledované vnikací metodou, hloubkovými koncentračními profily spektrální analýzy. K dokumentaci byl použit světelný i řádkovací elektronový mikroskop.
Abstrakt EN: Experiments conducted within this study follow up previous results, which had been presented at last-year METAL 03 conference. With regard to issues involved in ion bombardment of sintered carbides, different sintered materials have been selected for experiments. The difference consisted in chemical composition and grain size. This follow-up study traces the correlation between the substrate surface state, which had been influenced by ion bombardment, and resulting properties of the TiAlSiN thin film system. The effects of substrate properties with reference to chemical composition and structure has been investigated. For this purpose, Pin-on-Disc tribological test, indentation method describing the adhesive cohesive behaviour of the film and measurements of depth concentration profiles by means of spectral analysis have been used. Micrographs have been taken with use of light and scanning electron microscopes.
Klíčová slova

Zpět

Patička