Přejít k obsahu


Study of mechanical properties of superhard nanostructured thin films

Citace: [] BURŠÍKOVÁ, V., JAŠEK, O., FRGALA, Z., KARÁSKOVÁ, M., ZAJÍČKOVÁ, L., BURŠÍK, J., BLÁHOVÁ, O., GRANČIČ, B., MIKULA, M., KLAPETEK, P. Study of mechanical properties of superhard nanostructured thin films. In NANO '06. Brno: VUTIUM, 2006. s. 157-157. ISBN: 80-214-3331-0
Druh: STAŤ VE SBORNÍKU
Jazyk publikace: eng
Anglický název: Study of mechanical properties of superhard nanostructured thin films
Rok vydání: 2006
Místo konání: Brno
Název zdroje: VUTIUM
Autoři: Vilma Buršíková , O. Jašek , Z. Frgala , Miluška Karásková , L. Zajíčková , J. Buršík , Olga Bláhová , B. Grančič , M. Mikula , P. Klapetek
Abstrakt CZ: Cílem této práce je zjistit mechanické vlastnosti nanostrukturovaných diamantových vrstev (NCD) vytvořených pomocí PECVD a supertvrdých vrstev TiB2 připravených v Ar atmosféře.
Abstrakt EN: The aim of the present work is to investigate the mechanical properties of several nanostructured diamond (NCD) films prepared using microwave PECVD enhanced by RF induced DC self-bias and superhard TiB2 films prepared in Ar atmosphere from stoichiometric TiB2 target using an unbalanced DC magnetron.
Klíčová slova

Zpět

Patička