Přejít k obsahu


Structural and optical properties of PECVD a-Si:H influenced by different hydrogen dilutions

Citace: [] VAVRUŇKOVÁ, V., MÜLLEROVÁ, J., ŠUTTA, P. Structural and optical properties of PECVD a-Si:H influenced by different hydrogen dilutions. In Vákuové technológie - nové trendy vo výskume a aplikáciách. Bratislava: Slovenská vákuová spoločnosť, 2007. s. 104-107. ISBN: 978-80-969435-3-1
Druh: STAŤ VE SBORNÍKU
Jazyk publikace: eng
Anglický název: Structural and optical properties of PECVD a-Si:H influenced by different hydrogen dilutions
Rok vydání: 2007
Místo konání: Bratislava
Název zdroje: Slovenská vákuová spoločnosť
Autoři: Veronika Vavruňková , Jarmila Müllerová , Pavol Šutta
Abstrakt CZ: Tenké vrstvy hydrogenizovaného amorfního křemíku byly připraveny PECVD technologií ze silanu zředěného vodíkem (zředění D = 5 - 40). Tloušťka vrstev byla 300 nm. Použité techniky pro vyšetřování strukturních a optických vlastností jsou: rtg difrakce, UV - VIS spektrofotometrie a FTIR. Mikrokrystalické oblasti se objevily pouze při vyšším vodíkovém zředění (D= 33, 40). Struktura obsahující amorfní fázi s uspořádáním na krátkou vzdálenost je nazývána tzv. protokrystalickým křemíkem. Strukturní vlastnosti byly určeny z rtg analýzy. Dále jsou zde prezentovány výsledky z optické spektrometrie.
Abstrakt EN: Thin films of hydrogenated amorphous silicon were deposited by plasma - enhanced chemical vapor deposition (PECVD) from silane diluted with hydrogen (dilution D range 5 – 40). Thickness of the samples was 300 nm. The applied techniques for structural and optical analysis were: XRD diffraction, UV- VIS spectrophotometry and FTIR. Micro-crystallite regions appeared only at higher hydrogen dilutions (D = 33, 40). Structure includes an amorphous phase with the short-range order are called protocrystalline silicon. Structural properties were obtained from the XRD analysis. The results of optical spectrometry measurement of the films are also presented.
Klíčová slova

Zpět

Patička