Přejít k obsahu


Optical properties of ZnO:Al thin films deposited on TF600 sputtering system

Citace: [] NETRVALOVÁ, M., PRUŠÁKOVÁ, L., ŠUTTA, P. Optical properties of ZnO:Al thin films deposited on TF600 sputtering system. In Vákuové technológie - nové trendy vo výskume a aplikáciách. Bratislava: Slovenská vákuová spoločnosť, 2007. s. 116-118. ISBN: 978-80-969435-3-1
Druh: STAŤ VE SBORNÍKU
Jazyk publikace: eng
Anglický název: Optical properties of ZnO:Al thin films deposited on TF600 sputtering system
Rok vydání: 2007
Místo konání: Bratislava
Název zdroje: Slovenská vákuová spoločnosť
Autoři: Marie Netrvalová , Lucie Prušáková , Pavol Šutta
Abstrakt CZ: Transparentní vodivé vrstvy ZnO dopované hliníkem (ZnO:Al) byly vytvořené na skleněný substrát vakuovým povlakovacím systémem BOC Edwards TF 600. Depozice byla provedena vysokofrekvenčním magnetronovým naprašováním při pokojové teplotě. Optické vlastnosti (integrální transmitance a optická šířka zakázaného pásu) byly vyšetřované v závislosti na depozičních podmínkách. Integrální transmitance měřených vrstev byla počítána v rozsahu 400 - 1000 nm a přesahovala většinou hodnotu 90%, optická šířka zakázaného pásu klesala s rostoucí tloušťkou vrstvy.
Abstrakt EN: Transparent conducting aluminium - doped Zinc oxide (ZnO:Al) thin films were prepared on glass substrates by the BOC Edwards TF 600 vacuum coating system. Deposition was carried out by rf magnetron sputtering at room temperature. Optical properties (integral transmittance and optical band gap) of the ZnO:Al films were investigated in terms of the deposition conditions. The transmittance of these films in the range of 400 – 1000 nm wavelength was mostly over 90 %, the optical band gap decreased with growing thickness.
Klíčová slova

Zpět

Patička