Přejít k obsahu


Time-resolved diagnostics of high-power pulsed dc magnetron discharges for ionized high-rate sputtering of metallic films

Citace: [] VLČEK, J., PAJDAROVÁ, A., BĚLSKÝ, P., KORMUNDA, M., POTOCKÝ, Š. Time-resolved diagnostics of high-power pulsed dc magnetron discharges for ionized high-rate sputtering of metallic films. In Abstracts. Düsseldorf: VDI-Technologiezentrum, 2004. s. 144-144.
Druh: STAŤ VE SBORNÍKU
Jazyk publikace: eng
Anglický název: Time-resolved diagnostics of high-power pulsed dc magnetron discharges for ionized high-rate sputtering of metallic films
Rok vydání: 2004
Místo konání: Düsseldorf
Název zdroje: VDI-Technologiezentrum
Autoři: Jaroslav Vlček , Andrea Dag Pajdarová , Petr Bělský , Martin Kormunda , Štěpán Potocký
Abstrakt EN: High-power pulsed dc magnetron discharges for ionized high-rate sputtering of metallic films were systematically investigated. The depositions were performed using an unbalanced circular magnetron with a directly water-cooled planar cooper target of 100mm in diameter at a fixed argon pressure of 1Pa.
Klíčová slova

Zpět

Patička