Přejít k obsahu


Deposition of ZnO:Al for photovoltaic aplications in TF 600 vacuum coating system

Citace: [] PRUŠÁKOVÁ, L., NETRVALOVÁ, M., ZUBKO, P., ŠUTTA, P. Deposition of ZnO:Al for photovoltaic aplications in TF 600 vacuum coating system. In Vákuové technológie - nové trendy vo výskume a aplikáciách. Bratislava: Slovenská vákuová spoločnosť, 2007. s. 100-103. ISBN: 978-80-969435-3-1
Druh: STAŤ VE SBORNÍKU
Jazyk publikace: eng
Anglický název: Deposition of ZnO:Al for photovoltaic aplications in TF 600 vacuum coating system
Rok vydání: 2007
Místo konání: Bratislava
Název zdroje: Slovenská vákuová spoločnosť
Autoři: Lucie Prušáková , Marie Netrvalová , Pavol Zubko , Pavol Šutta
Abstrakt CZ: Náplní této práce je určení vlivu depozičních parametrů na strukturní vlastnosti transparentních vodivých vrstev ZnO:Al vytvořených s využitím depoziční aparatury TF 600 firmy BOC Edwards. Byla stanovena depoziční rychlost ZnO:Al vrstev vytvořených vysokofrekvenčním magnetronovým naprašováním. Sledovanými vlastnostmi jsou biaxiální napětí, velikost krystalitů a mikronapětí.
Abstrakt EN: The effect of deposition parameters on structural properties of the aluminium-doped zinc oxide (ZnO:Al) was studied. The ZnO:Al thin films were produced using the BOC Edwards TF 600 vacuum coating system. Exploring different deposition parameters two series of samples were produced that needed characterize the deposition rate of ZnO:Al produced by the RF magnetron sputtering. Properties of interest include biaxial lattice stress, size of the crystallites and the micro-strains.
Klíčová slova

Zpět

Patička