Přejít k obsahu


Structural and optical properties of sputtered ZnO thin films

Citace: [] FLICKYNGEROVÁ, S., SHTEREVA, K., VAVRUŇKOVÁ, V., HAŠKO, D., NOVOTNÝ, I., TVAROŽEK, V., ŠUTTA, P., VAVRINSKÝ, E. Structural and optical properties of sputtered ZnO thin films. Applied Surface Science, 2007, roč. 254, č. 12, s. 3643-3647. ISSN: 0169-4332
Druh: ČLÁNEK
Jazyk publikace: eng
Anglický název: Structural and optical properties of sputtered ZnO thin films
Rok vydání: 2007
Autoři: Soňa Flickyngerová , K. Shtereva , Veronika Vavruňková , D. Haško , Ivan Novotný , Vladimír Tvarožek , Pavol Šutta , Erik Vavrinský
Abstrakt CZ: Tenké vrstvy oxidu zinečnatého (ZnO) a hliníkem dopovaného ZnO (ZnO:Al) byly připraveny vysokofrekvenčním diodovým naprašováním při různých depozičních podmínkách. Byl sledován vliv záporného předpětí a vysokofrekvenční výkon na strukturní a optické vlastnosti. Rtg měření potvrdily, že vrstvy ZnO (nedopovaná i dopovaná Al) jsou polykrystalické s hexagonální wurtzitovou strukturou. Přednostní orientace <001> a drsnost povrchu určená z AFM měření ukazují závislost použitého předpětí a vysokofrekvenčního výkonu. Naprášené tenké vrstvy ZnO a ZnO:Al mají vysokou optickou propustnost (>90%) ve spektrálním rozsahu 400-800 nm, která není ovlivněna předpětím a vysokofrekvenčním výkonem.
Abstrakt EN: Zinc oxide (ZnO) and aluminium doped zinc oxide (ZnO:Al) thin films were prepared by RF diode sputtering at varying deposition conditions. The effects of negative bias voltage and RF power on structural and optical properties were investigated. X-ray diffraction measurements (XRD)confirmed that both un-doped and Al doped ZnO films are polycrystalline and have hexagonal wurtzite structure. The preferential <001> orientation and surface roughness evaluated by AFM measurements showed dependence on applied bias voltage and RF power. The sputtered ZnO and ZnO:Al films had high optical transmittance (>90%) in the wavelength range of 400-800 nm, which was not influenced by bias voltage and RF power.
Klíčová slova

Zpět

Patička