|
Citace:
|
MÜLLEROVÁ, J., VAVRUŇKOVÁ, V., ŠUTTA, P. Optical absorption in PECVD deposited thin hydrogenated silicon in light of ordering effects. Central European Journal of Physics, 2009, roč. 7, č. 2, s. 315-320. ISSN: 1895-1082
|
|
Druh:
|
ČLÁNEK
|
|
Jazyk publikace:
|
eng
|
|
Anglický název:
|
Optical absorption in PECVD deposited thin hydrogenated silicon in light of ordering effects
|
|
Rok vydání:
|
2009
|
|
Název zdroje:
|
Versita, co-published with Springer-Verlag GmbH
|
|
Autoři:
|
Ing. Veronika Vavruňková
,
Doc. RNDr. Pavol Šutta Ph.D.
|
|
Abstrakt CZ:
|
Zde jsou publikovány výsledky získané z měření optických transmitančních spekter sérií tenkých vrstev křemíku deponovaných plazmo-chemickou depozicí (PECVD) ze silanu zředěného vodíkem. Ředění vodíku silanem vede k nestejnorodému růstu, během něhož se materiál vyvíjí z amorfního hydrogenizovaného křemíku (a-Si:H) na mikrokrystalický hydrogenizovaný křemík (μc-Si:H). Spektrální indexy lomu a absorpční koeficienty byly stanoveny z transmitančního spektra. Spektrální absorpční koeficienty byly použity k určení Taucovo optické šířky energetického pásu, B faktor z
Taucovo grafů, E04 (energie, při níž se absorpční koeficient rovná 104 cm-1), a Urbachova energie byla určena v závislosti na vodíkovém zředění. Výsledky byly korelovány s mikrostrukturou, a to především objem frakce amorfní a krystalické fáze s dutinami a velikostí zrna.
|
|
Abstrakt EN:
|
We report results obtained from measurements of optical transmittance spectra carried out on a series of silicon thin films deposited by plasma-enhanced chemical vapour deposition (PECVD) from silane diluted with hydrogen. Hydrogen dilution of silane results in an inhomogeneous growth during which the material
evolves from amorphous hydrogenated silicon (a-Si:H) to microcrystalline hydrogenated silicon (μc-Si:H). Spectral refractive indices and absorption coefficients were determined from transmittance spectra. The spectral absorption coefficients were used to determine the Tauc optical band gap energy, the B factor
of the Tauc plots, E04 (energy at which the absorption coefficient is equal to 104 cm−1), and the Urbach energy as a function of the hydrogen dilution. The results were correlated with microstructure, namely volume fractions of the amorphous and crystalline phase with voids, and with the grain size.
|
|
Klíčová slova
|
|