Přejít k obsahu


Optical absorption in PECVD deposited thin hydrogenated silicon in light of ordering effects

Citace: [] MÜLLEROVÁ, J., VAVRUŇKOVÁ, V., ŠUTTA, P. Optical absorption in PECVD deposited thin hydrogenated silicon in light of ordering effects. Central European Journal of Physics, 2009, roč. 7, č. 2, s. 315-320. ISSN: 1895-1082
Druh: ČLÁNEK
Jazyk publikace: eng
Anglický název: Optical absorption in PECVD deposited thin hydrogenated silicon in light of ordering effects
Rok vydání: 2009
Název zdroje: Versita, co-published with Springer-Verlag GmbH
Autoři: Jarmila Müllerová , Ing. Veronika Vavruňková , Doc. RNDr. Pavol Šutta Ph.D.
Abstrakt CZ: Zde jsou publikovány výsledky získané z měření optických transmitančních spekter sérií tenkých vrstev křemíku deponovaných plazmo-chemickou depozicí (PECVD) ze silanu zředěného vodíkem. Ředění vodíku silanem vede k nestejnorodému růstu, během něhož se materiál vyvíjí z amorfního hydrogenizovaného křemíku (a-Si:H) na mikrokrystalický hydrogenizovaný křemík (μc-Si:H). Spektrální indexy lomu a absorpční koeficienty byly stanoveny z transmitančního spektra. Spektrální absorpční koeficienty byly použity k určení Taucovo optické šířky energetického pásu, B faktor z Taucovo grafů, E04 (energie, při níž se absorpční koeficient rovná 104 cm-1), a Urbachova energie byla určena v závislosti na vodíkovém zředění. Výsledky byly korelovány s mikrostrukturou, a to především objem frakce amorfní a krystalické fáze s dutinami a velikostí zrna.
Abstrakt EN: We report results obtained from measurements of optical transmittance spectra carried out on a series of silicon thin films deposited by plasma-enhanced chemical vapour deposition (PECVD) from silane diluted with hydrogen. Hydrogen dilution of silane results in an inhomogeneous growth during which the material evolves from amorphous hydrogenated silicon (a-Si:H) to microcrystalline hydrogenated silicon (μc-Si:H). Spectral refractive indices and absorption coefficients were determined from transmittance spectra. The spectral absorption coefficients were used to determine the Tauc optical band gap energy, the B factor of the Tauc plots, E04 (energy at which the absorption coefficient is equal to 104 cm−1), and the Urbach energy as a function of the hydrogen dilution. The results were correlated with microstructure, namely volume fractions of the amorphous and crystalline phase with voids, and with the grain size.
Klíčová slova

Zpět

Patička