Přejít k obsahu


Optical characterization of polysilicon thin films for solar applications

Citace: [] MÜLLEROVÁ, J., JUREČKA, S., ŠUTTA, P. Optical characterization of polysilicon thin films for solar applications. Solar Energy, 2006, roč. 80, č. 6, s. 667-674. ISSN: 0038-092X
Druh: ČLÁNEK
Jazyk publikace: eng
Anglický název: Optical characterization of polysilicon thin films for solar applications
Rok vydání: 2006
Název zdroje: Elsevier
Autoři: Jarmila Müllerová , S Jurečka , Doc. RNDr. Pavol Šutta Ph.D.
Abstrakt CZ: Zde jsou publikovány výsledky vyšetřování optických vlastností a struktury tenkých vrstev hydrogenizovaného polykrystalického křemíku připraveného PECVD technologií pomocí UV-VIS a IR spektroskopie. Byl zkoumán vliv vodíkového zředění plazmy silanu při PECVD depozici na vlastnosti vrstev. Byly analyzovány: indexu lomu, optická šířka pásu energií a mikrostruktura vodíku a kyslíku. Změny jsou diskutovány a korelují se strukturou, změnami v morfologii povrchu a vazbami mezi vodíkem a křemíkem. Optická šířka pásu je větší, než je tomu u nezředěného vzorku. Výsledky ukazují, že při zředění mezi 20 a 30 nastává přechod mezi amorfní a krystalickou fází a vzorek se stává směsí amorfní, polykrystalické fáze se zrny o velikosti nanometrů a dutin s klesající koncentrací vodíku. Byla zjištěna přítomnost intersticiálního kyslíku a kyslíku vázané na povrchu Si-OH skupin.
Abstrakt EN: We report on the results of the investigation of optical properties and structure of PECVD deposited thin films of hydrogenated polysilicon determined by UV- Vis and IR spectroscopy. The influence of the hydrogen dilution of silane plasma at the PECVD deposition on the film properties was investigated. The refractive index, the optical band gap energy and the microstructure of hydrogen and oxygen were analysed. The changes are discussed and correlated with the structure, the changes of the surface morphology and the hydrogen to silicon bonding. The optical band gap becomes larger than that of the undiluted sample. The results show that at dilution between 20 and 30 the transition between amorphous and crystalline phase occurs and the sample becomes a mixture of amorphous, polycrystalline phase with nano-size grains and voids with decreasing hydrogen concentration. The presence of interstitial oxygen and oxygen bonded in the surface Si-OH groups was detected.
Klíčová slova

Zpět

Patička