Přejít k obsahu


Optical properties of re-crystallized polycrystalline silicon thin films from a-Si films deposited by electron beam evaporation

Citace: [] NETRVALOVÁ, M., VAVRUŇKOVÁ, V., MÜLLEROVÁ, J., ŠUTTA, P. Optical properties of re-crystallized polycrystalline silicon thin films from a-Si films deposited by electron beam evaporation. In Proceedings of the 15th International Conference on Applied Physics of Condensed Matter. Žilina: University of Žilina, 2009. s. 88-91. ISBN: 978-80-554-0057-0
Druh: STAŤ VE SBORNÍKU
Jazyk publikace: eng
Anglický název: Optical properties of re-crystallized polycrystalline silicon thin films from a-Si films deposited by electron beam evaporation
Rok vydání: 2009
Místo konání: Žilina
Název zdroje: University of Žilina
Autoři: Ing. Marie Netrvalová , Ing. Veronika Vavruňková , Doc. RNDr. Jarmila Müllerová Ph.D. , Doc. RNDr. Pavol Šutta Ph.D.
Abstrakt CZ: Tento přízpěvek se zabývá strukturou a optickými vlastnostmi polykrystalických tenkých vrstev křemíku deponovaných napařováním elektronovým svazkem na corning glass s následným ohřevem, který způsobil rekrystalizaci v pevné fázi z amorfního materiálu na polykrystalický. Rekrystalizační proces byl monitorován "in situ" rentgenovou difrakcí ve vakuované vysokoteplotní komoře. Teploty žíhání se pohybovaly mezi 590 a 650°C. Optické vlastnosti byly získány z měření na optickém spektrofotometru a následně porovnány s mikrostrukturními parametry získanými z XRD. Byl nalezený vztah mezi krystalickým a amorfním stavem, velikostí krystalitů, optickou šířkou zakázaného pásu a spektrálním extinkčním koeficientem.
Abstrakt EN: This paper deals with the structural and optical properties of the polycrystalline silicon films initially deposited in amorphous state by electron beam evaporation technology on a Corning glass and consequently thermally re-crystallized from solid phase. The re-crystallization process was ?in situ? monitored by X-ray diffraction using an evacuated high temperature chamber at temperatures from 590°C to 650°C. Optical properties of the films carried out from the optical spectrophotometry recorded in a visible range of electromagnetic spectra were then confronted with the micro-structure parameters of the films. Relationships between the crystalline/amorphous state, crystallite size and optical band-gaps, spectral refractive indexes and spectral extinction coefficients are clearly demonstrated.
Klíčová slova

Zpět

Patička