Přejít k obsahu


Silicon-oxide Containing Diamond-like Carbon Coatings Prepared Using Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition

Citace: [] BURŠÍKOVÁ, V., DVOŘÁK, P., ZAJÍČKOVÁ, L., FRANDA, D., JANČA, J., BURŠÍK, J., BLÁHOVÁ, O., PEŘINA, V., KLAPETEK, P. Silicon-oxide Containing Diamond-like Carbon Coatings Prepared Using Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition. Kolkata, 2006.
Druh: Zaniklé typy
Jazyk publikace: eng
Anglický název: Silicon-oxide Containing Diamond-like Carbon Coatings Prepared Using Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition
Rok vydání: 2006
Místo konání: Kolkata
Název zdroje: Saha Institute of Nuclear Physics
Autoři: V. Buršíková , P. Dvořák , L. Zajíčková , D. Franda , J. Janča , J. Buršík , Doc. Ing. Olga Bláhová Ph.D. , V. Peřina , P. Klapetek
Abstrakt CZ: V práci jsou hodnoceny DLC vrstvy s různým obsahem oxidu křemíku deponované na různé substráty. Mikrotruktura byla hodnocena metodou FTIR a rtg. spektroskopií. Metodami RBS a ERD byly hodnoceno prvkové složení, včetně obsahu vodíku. Elipsometrickou metodou byly hodnoceny dielektrické vlastnosti. Nanoindentační metodou byly hodnoceny mechanické vlastnosti. Tribologické vlastnosti byly hodnoceny metodou pin-on-disc. Byl hodnocen vliv vnitřního pnutí na vlastnosti vrstev. Změny obsahu oxidu křemíku umožnoly minimalizovat vnitřní pnutí ve vrstvách.
Abstrakt EN: Diamond-like carbon coatings with varous silicon-oxide content were deposited on different substrate materials. The structure of the prepared films was studied with infrared absorption spectroscopy (FTIR) and X-ray photoelectron spectroscopy. Complete atomic compositions, including hydrogen content and film densities, were determined by combination of RBS and ERD analyses. The complex dielectric function of the films was determined from ellipsometric measurements. The mechanical properties of prepared coatings were strudied by means of depth sensing indentation technique. The tribological properties were studied using pin-on-disc tester. The effect of intrinsic stress on the coating properties was investigated. The variation in SiOx concent enabled to minimize the intrinsic compressive stress in coatings.
Klíčová slova

Zpět

Patička