Přejít k obsahu


Výhody využití metody PACVD pro povlakování nástrojů

Citace: [] HOŘEJŠ, S., FAJKUS, M., PRUŠÁKOVÁ, L., BLÁHOVÁ, O. Výhody využití metody PACVD pro povlakování nástrojů. 2007., ISBN: 978-80-210-4688-7,
Druh: PŘEDNÁŠKA, POSTER
Jazyk publikace: cze
Rok vydání: 2007
Autoři: Slavomír Hořejš , Miroslav Fajkus , Ing. Lucie Prušáková , Doc. Ing. Olga Bláhová Ph.D.
Abstrakt CZ: Tento příspěvek přináší stručný přehled výhod povlakovaných nástrojů a důvodů, proč nástroje povlakovat. Dále porovnává základní technologie vytváření tenkých vrstev - PVD, PACVD, CVD - se zvláštním zaměřením na výhody metody PACVD. Dalšími důležitými body této práce jsou způsoby vytváření mulstivrstvých systémů a oblasti aplikace TiCN a TiB2 vrstev.
Klíčová slova

Zpět

Patička