Přejít k obsahu


Structural changes studies of a-Si:H films deposited by PECVD under different hydrogen dilutions using various experimental techniques

Citace: [] VAVRUŇKOVÁ, V., MÜLLEROVÁ, J., SRNÁNEK, R., ŠUTTA, P. Structural changes studies of a-Si:H films deposited by PECVD under different hydrogen dilutions using various experimental techniques. Vacuum, 2009, roč. 84, č. 1, s. 123-125. ISSN: 0042-207X
Druh: ČLÁNEK
Jazyk publikace: eng
Anglický název: Structural changes studies of a-Si:H films deposited by PECVD under different hydrogen dilutions using various experimental techniques
Rok vydání: 2009
Název zdroje: Pergamon
Autoři: Ing. Veronika Vavruňková , Jarmila Müllerová , Rudolf Srnánek , Doc. RNDr. Pavol Šutta Ph.D.
Abstrakt CZ: Plazmou podpořená chemická depozice (PECVD) byla použita pro přípravu tenkých vrstev amorfního hydrogenizovaného křemíku (a-Si:H) s různým vodíkovým zředěním zdrojového plynu silanu. Vrstvy byly deponovány na skleněné substráty Corning 1737 a (100) orientované Si podložky a charakterizovány byly pomocí rtg difrakce, mikro-Ramanovy analýzy a FTIR spektrometrie. Experimentální data ukázaly vývoj z amorfního křemíku k nanokrystalickému a obsahují uspořádání na střední vzdálenost (MRO) měnící se s vodíkovým zředěním během depozice. Z rtg difrakce a Ramonovy analýzy bylo zjištěno, že přítomnost krystalické fáze závisí na druhu substrátu a na úrovni zředění.
Abstrakt EN: Plasma enhanced chemical vapour deposition (PECVD) has been used to prepare hydrogenated amorphous silicon (a-Si:H) thin films at different hydrogen dilution of silane source gas. The films were deposited on Corning glass 1737 substrate and on (100) oriented c-Si wafers and characterized by XRD diffraction, micro-Raman and FTIR spectrometry. Experimental data show evolution from amorphous to nanocrystalline silicon and contain the medium-range order (MRO) with varying hydrogen dilution during deposition. From X-ray diffraction and Raman analysis, it is found that the presence of crystalline phase depends on the kind of substrate and on the dilution scale.
Klíčová slova

Zpět

Patička