Přejít k obsahu


Thermal stability of magnetron sputtered Si-B-C-N materials at temperatures up to 1700 °C

Citace: [] ZEMAN, P., ČAPEK, J., ČERSTVÝ, R., VLČEK, J. Thermal stability of magnetron sputtered Si-B-C-N materials at temperatures up to 1700 °C. Strasbourg, 2009.
Druh: PŘEDNÁŠKA, POSTER
Jazyk publikace: eng
Anglický název: Thermal stability of magnetron sputtered Si-B-C-N materials at temperatures up to 1700 °C
Rok vydání: 2009
Autoři: Doc. Ing. Petr Zeman Ph.D. , Ing. Jiří Čapek , Ing. Radomír Čerstvý , Prof. RNDr. Jaroslav Vlček CSc.
Abstrakt CZ: Teplotní stabilita funkčních povlaků je klíčová z hlediska jejich použití za vysokých teplot v celé řadě aplikací. V nedávné době byly v našich laboratořích úspěšně připraveny metodou magnetronového naprašování povlaky Si-B-C-N s amorfní nanostrukturou, vysokou tvrdostí, nízkým tlakovým pnutím a řiditelnými elektrickými a optickými vlastnostmi. Na základě skvělé oxidační odolnosti těchto povlaků nad teplotou 1500 °C ve vzduchu byl proveden systematický výzkum jejich teplotní stability v inertním prostředí pomocí vysokorozlišovací termogravimetrie a diferenciální skenovací kalorimetrie. Struktura byla analyzována pomocí rentgenové difrakce. Povlaky Si-B-C-N byly deponovány na měděné substráty stejnosměrným magnetronovým naprašováním z terče B4C-Si ve směsi dusíku a argonu za optimalizovaných procesních parametrů.
Abstrakt EN: Thermal stability of functional coatings is of a key importance for their use at high temperatures in a number of application areas. Recently, novel quaternary Si-B-C-N coatings with an amorphous nanostructure, high hardness, low compressive stress, and tunable electrical and optical properties have been successfully prepared by magnetron sputtering in our laboratories. Based on an excellent oxidation resistance of these coatings even above 1500 °C in flowing air, a systematic investigation of their thermal stability in an inert gas was carried out up to 1700 °C using a symmetrical Setaram thermogravimetric system TAG 2400 and differential scanning calorimeter DSC Labsys 1600. The structure of the coatings was analyzed by XRD. The Si-B-C-N coatings were deposited on Cu substrates by dc magnetron co-sputtering of a single B4C-Si target in a nitrogen-argon gas mixture at optimized process parameters.
Klíčová slova

Zpět

Patička