Přejít k obsahu


Thermally stable Si-B-C-N coatings prepared by dc reactive magnetron co-sputtering

Citace: [] STEIDL, P., ČAPEK, J., ZEMAN, P., CALTA, P., ČERSTVÝ, R., VLČEK, J. Thermally stable Si-B-C-N coatings prepared by dc reactive magnetron co-sputtering. 2009.
Druh: PŘEDNÁŠKA, POSTER
Jazyk publikace: eng
Anglický název: Thermally stable Si-B-C-N coatings prepared by dc reactive magnetron co-sputtering
Rok vydání: 2009
Autoři: Ing. Petr Steidl , Ing. Jiří Čapek , Doc. Ing. Petr Zeman Ph.D. , Ing. Pavel Calta , Ing. Radomír Čerstvý , Prof. RNDr. Jaroslav Vlček CSc.
Abstrakt CZ: Vrstvy Si-B-C-N byly připraveny rozprašováním B4C-Si terče s neměnným podílem Si v erozní zóně magnetronu. Depozice probíhaly za tzv. zjednodušených experimentálních podmínek - substráty (Si, SiC, Cu, sklo) na plovoucím potenciálu a bez přídavného ohřevu. Připravené vrstvy vykazovaly amorfní strukturu, vysokou tvrdost a nízké tlakové pnutí. S rostoucím podílem Ar ve výbojové směsi dochází u vrstev k poklesu optické transparentnosti a k nárůstu elektrické vodivosti. Vrstvy připravené při 50% podílu Ar ve výbojové směsi vykazovaly velmi vysokou oxidační odolnost ve vzduch do teplot 1500 °C a extrémně vysokou teplotní stabilitu v inertních plynech do 1600 °C.
Abstrakt EN: In this work, the Si-B-C-N coatings were deposited using the B4C-Si target with a fixed Si fraction in the target erosion area on floating Si, SiC, Cu and glass substrates without an additional heating, i. e., under simplified experimental conditions. The coatings, were found to be amorphous with high hardness and low compressive stress. With the increasing Ar fraction in the gas mixture, their optical transparency decreases while their electrical conductivity raises. The coatings prepared with a 50% Ar fraction exhibited very high oxidation resistance in air up to 1500 °C and extremely high thermal stability in the inert gases up to 1600 °C.
Klíčová slova

Zpět

Patička