Přejít k obsahu


Properties of the thermally stable Si-B-C-N coatings prepared by reactive dc magnetron co-sputtering

Citace: [] CALTA, J., ČAPEK, M., ZEMAN, P., STEIDL, P., ČERSTVÝ, R., VLČEK, J. Properties of the thermally stable Si-B-C-N coatings prepared by reactive dc magnetron co-sputtering. 2009.
Druh: PŘEDNÁŠKA, POSTER
Jazyk publikace: eng
Anglický název: Properties of the thermally stable Si-B-C-N coatings prepared by reactive dc magnetron co-sputtering
Rok vydání: 2009
Autoři: Jan Calta , Martin Čapek , Doc. Ing. Petr Zeman Ph.D. , Ing. Petr Steidl , Ing. Radomír Čerstvý , Prof. RNDr. Jaroslav Vlček CSc.
Abstrakt CZ: Nové materiály ze systému Si-B-C-N jsou velmi zajímavé díky možnému použití ve vysokoteplotních aplikacích. Vrstvy Si-B-C-N byly deponovány reaktivním dc magnetronovým naprašováním. Byl zkoumán vliv plynné směsi na mechanické, optické a elektrické vlastnosti, jejich vysokoteplotní oxidační odolnost a teplotní stabilitu v inertních plynech. Připravené vrstvy byly amorfní, vykazovaly vysokou tvrdost, nízké tlakové pnutí, řiditelné optické a elektrické vlastnosti a výborné vysokoteplotní chování.
Abstrakt EN: Novel quaternary Si-B-C-N materials are becoming increasingly attractive because of their possible high-temperature applications. The coatings were deposited using reactive dc magnetron sputtering. The effect of the gas mixture composition on mechanical, optical and electrical properties of the coatings, and their high-temperature oxidation resistance and thermal stability in inert gases were investigated. The coatings were found to be amorphous with high hardness, low compressive stress, with controllable optical and electrical properties and excellent high-temperature behaviour.
Klíčová slova

Zpět

Patička