Přejít k obsahu


Surface modification of doped ZnO thin films

Citace: [] FLICKYNGEROVÁ, S., SKRINIAROVA, J., NETRVALOVÁ, M., KOVÁČ, J., NOVOTNÝ, I., ŠUTTA, P., TVAROŽEK, V. Surface modification of doped ZnO thin films. Applied Surface Science, 2010, roč. 256, č. 18, s. 5606-5609. ISSN: 0169-4332
Druh: ČLÁNEK
Jazyk publikace: eng
Anglický název: Surface modification of doped ZnO thin films
Rok vydání: 2010
Místo konání: Amsterdam
Název zdroje: Elsevier
Autoři: Ing. Soňa Flickyngerová , J. Skriniarova , Ing. Marie Netrvalová , Jaroslav Kováč , Ivan Novotný , Doc. RNDr. Pavol Šutta Ph.D. , Vladimír Tvarožek
Abstrakt EN: Effects of photo-assisted electrodeless and ion RF-sputter etching on the structural and optical properties of sputtered ZnO:Al thin films were investigated. Photo-assisted electrodeless etching was appropriate for getting ?smooth? surfaces and ion RF-sputter etching by high power has significantly modified the surface roughness with an increase of the light diffuse transmittance.
Klíčová slova

Zpět

Patička