Přejít k obsahu


Termovizní měření v PVD technologiích

Citace: [] TESAŘ, J., MARTAN, J., HONNER, M. Termovizní měření v PVD technologiích. In Vrstvy a povlaky 2009. Trenčín: Digital Graphics, 2009. s. 113-116. ISBN: 978-80-969310-9-5
Druh: STAŤ VE SBORNÍKU
Jazyk publikace: cze
Anglický název: Infrared Camera Measurement in PVD Technologies
Rok vydání: 2009
Místo konání: Trenčín
Název zdroje: Digital Graphics
Autoři: Ing. Jiří Tesař , Ing. Jiří Martan Ph.D. , Doc. Ing. Milan Honner Ph.D.
Abstrakt CZ: Teplota Ti terče při reaktivním magnetronovém naprašování byla měřena termovizní kamerou. Infračervené záření z terče bylo snímáno přes germaniové okénko, které je v těchto vlnových délkách propustné. Propustnost Ge okénka byla měřena na FTIR spektrometru. Měření bylo prováděno při všech třech etapách naprašování - startování výboje, vlastní depozice a chladnutí po depozici. Termogramy a čárové profily povrchové teploty Ti terče byly porovnávány v čase začátku depozice, ukončení depozice, 10 a 20 s po jejím ukončení. Jsou ukázány možnosti měření termovizním systémem.
Abstrakt EN: Temperature of Ti target in reactive magnetron sputtering process was measured by InfraRed (IR) camera. The IR radiation from hot target was detected through the IR transparent germanium window. The transmissivity of Ge window was measured with FTIR spectrometer. All three parts of sputtering process were measured - discharge starting, own deposition and cooling after deposition. Thermograms and line profiles through the surface temperatures of Ti target were compared for time of switch on and off of source, 10 and 20 seconds later. Possibilities of measuring with thermovision system were shown.
Klíčová slova

Zpět

Patička