Přejít k obsahu


A study of optical absorption in amorphous hydrogenated silicon thin films of varied thickness

Citace: [] MÜLLEROVÁ, J., PRUŠÁKOVÁ, L., NETRVALOVÁ, M., VAVRUŇKOVÁ, V., ŠUTTA, P. A study of optical absorption in amorphous hydrogenated silicon thin films of varied thickness. Applied Surface Science, 2010, roč. 256, č. 18, s. 5667-5671. ISSN: 0169-4332
Druh: ČLÁNEK
Jazyk publikace: eng
Anglický název: A study of optical absorption in amorphous hydrogenated silicon thin films of varied thickness
Rok vydání: 2010
Místo konání: Amsterdam
Název zdroje: Elsevier
Autoři: Jarmila Müllerová , Ing. Lucie Prušáková , Ing. Marie Netrvalová , Ing. Veronika Vavruňková , Doc. RNDr. Pavol Šutta Ph.D.
Abstrakt CZ: V článku jsou publikované výsledky získané ze studie optické absorpce tenkých vrstev amorfního křemíku vytvořeného plazmou podpořenou chemickou depozicí (PECVD) z plazmy silanu. Vliv tloušťky vrstvy byl zkoumán pro dvě série vzorků deponovaných z nezředěného silanu a vrstev s různým vodíkovým zředěním silanu. Spektrální indexy lomu a absorpční koeficienty byly určeny z transmitančních spekter. Spektrální absorpční koeficienty byly použity k určení optické šířky zakázaného pásu Eg, B faktoru Taucovo grafů, iso-energetické hodnoty E04 (energie, při které se koeficient absorpce rovná 10 4 cm-1). Výsledky byly korelovány s objemem frakce amorfní fáze a dutin a s tloušťkou vrstev.
Abstrakt EN: We report results obtained from optical absorption studies carried out on amorphous silicon thin films deposited by plasma-enhanced chemical vapour deposition (PECVD) from silane plasma. The influence of the film thickness was studied on the two series of samples deposited from undiluted silane and under moderate hydrogen dilution of silane. Spectral refractive indices and absorption coefficients were determined from transmittance spectra. The spectral absorption coefficients were used to determine the Tauc optical band-gap energies Eg, the B factors of the Tauc plots, the iso-energy values E 04 (energy at which the absorption coefficient is equal to 10 4 cm−1). The results were correlated with volume fractions of the amorphous phase and voids and with the film thickness.
Klíčová slova

Zpět

Patička