Přejít k obsahu


Preparation of transparent conductive AZO thin films for solar cells

Citace: [] TVAROŽEK, V., ŠUTTA, P., NOVOTNÝ, I., BALLO, P., HARMATHA, L., FLICKYNGEROVÁ, S., PRUŠÁKOVÁ, L., NETRVALOVÁ, M., VAVRUŇKOVÁ, V., PULLMANNOVÁ, A., VAVRINSKÝ, E., GAŠPIERIK, P., MIKOLÁŠEK, M. Preparation of transparent conductive AZO thin films for solar cells. In ASDAM 2008. New York: IEEE Nuclear and Plasma Sciences Society, 2008. s. 275-278. ISBN: 978-1-4244-2325-5
Druh: STAŤ VE SBORNÍKU
Jazyk publikace: eng
Anglický název: Preparation of transparent conductive AZO thin films for solar cells
Rok vydání: 2008
Místo konání: New York
Název zdroje: IEEE Nuclear and Plasma Sciences Society
Autoři: Vladimír Tvarožek , Doc. RNDr. Pavol Šutta Ph.D. , Ivan Novotný , Peter Ballo , Ladislav Harmatha , Soňa Flickyngerová , Ing. Lucie Prušáková , Ing. Marie Netrvalová , Ing. Veronika Vavruňková , Andrea Pullmannová , Erik Vavrinský , Pavol Gašpierik , Miroslav Mikolášek
Abstrakt CZ: V tomto článku je popisováno studium efektů technologických parametrů (naprašovací výkon, teplota substrátu a podepoziční žíhání) na strukturní, elektrické a optické vlastnosti hliníkem dopované tenké vrstvy oxidu zinečnatého (AZO). Je nezbytné nalézt optimální parametry technologie přípravy AZO tenkých vrstev pro aplikaci v solárních článcích - vysoké poměrové číslo (F >= 4%/ohm), nízká elektrická plošná rezistivita (Rs <= 10 ohm/square) a vysoká optická propustnost (T >= 82%, zahrnující skleněný substrát).
Abstrakt EN: A study of the effect of technology parameters (sputtering power, substrate temperature and post-deposition annealing) on structural, electrical and optical properties of aluminum-doped zinc oxide (AZO) thin films was carried out. The optimal technology parameters of preparation were found to get necessary properties of AZO thin films for application in solar cells - the high figure of merit (F >= 4%/ohm), low electrical sheet resistance (Rs <= 10 ohm/square) and high optical transmittance (T >= 82%, including the glass substrate).
Klíčová slova

Zpět

Patička