Přejít k obsahu


Pulsed laser deposition of ZnO in N2O atmosphere

Citace: [] BRUNCKO, J., VINCZE, A., NETRVALOVÁ, M., UHEREK, F., ŠUTTA, P. Pulsed laser deposition of ZnO in N2O atmosphere. Applied Physics A - Materials Science & Processing, 2010, roč. 101, č. 4, s. 665-669. ISSN: 0947-8396
Druh: ČLÁNEK
Jazyk publikace: eng
Anglický název: Pulsed laser deposition of ZnO in N2O atmosphere
Rok vydání: 2010
Místo konání: New York
Název zdroje: Springer
Autoři: Jaroslav Bruncko , Andrej Vincze , Ing. Marie Netrvalová , František Uherek , Doc. RNDr. Pavol Šutta Ph.D.
Abstrakt CZ: Příspěvek se zabývá tenkými vrstvami ZnO dopovanými dusíkem, které byly připravované pulzní laserovou depozicí v N2O atmosféře. Náš přístup je založen na ablaci nedopovaného ZnO terče v atmosféře obsahující aktivní plyn N2O buzený paralelně bez jakýchkoli podpůrných zařízení. Ablace ZnO terče byla provedena při různých tlacích (1 Pa 32?) N2O okolní atmosféry pulzním Nd: YAG laserem (při 355 nm). Vrstvy ZnO byly pěstovány na různých substrátech (Si, safír, fused silica) a jejich vlastnosti byly studovány pomocí různých analytických metod: skenovací elektronová mikroskopie (SEM), hmotnostní spektroskopie sekundárních iontů (SIMS), rentgenová difrakce (XRD) a optická transmisní spektroskopie. Výsledky potvrdily začlenění dusíku do vrstev ZnO a jeho závislost koncentrace na tlaku. Podle analýzy SIMS, existuje určitá úroveň tlaku (nad 10 Pa), kdy je přítomnost N zanedbatelná. Transmisní spektra ukázala zvýšení optického zakázaného pásu (Eg) v závislosti na tlaku N2O.
Abstrakt EN: The contribution deals with ZnO thin layers doped by nitrogen which were prepared by pulsed laser deposition in N2O ambient atmosphere. Our approach is based on ablation of undoped ZnO target in active atmosphere containing N2O gas without any supporting excitation equipment in parallel. Ablation of ZnO target was performed at different pressures (from 1 to 32 Pa) of N2O ambient atmosphere by pulsed Nd:YAG laser (at 355 nm). Layers of ZnO were grown on different substrates (Si, sapphire, fused silica) and their properties were investigated by various analytical methods: scanning electron microscopy (SEM), secondary ion mass spectroscopy (SIMS), X-ray diffraction (XRD), and optical transmission spectroscopy. The results confirmed incorporation of nitrogen into ZnO layers and its concentration was pressure dependent. According to SIMS analysis, there is a certain pressure level (above 10 Pa) when the presence of N becomes negligible. Transmittance spectra showed increasing of the optical band gap (Eg) according to the pressure of N2O.
Klíčová slova

Zpět

Patička