Přejít k obsahu


Studium fyzikálních vlastností dopovaných tenkých vrstev ZnO pro fotovoltaické aplikace

Citace: [] NETRVALOVÁ, M., FLICKYNGEROVÁ, S., PRUŠÁKOVÁ, L., NOVOTNÝ, I., TVAROŽEK, V., ŠUTTA, P. Studium fyzikálních vlastností dopovaných tenkých vrstev ZnO pro fotovoltaické aplikace. In 5. Česká fotovoltaická konference. Brno: Czech RE Agency, 2010. s. 18-22. ISBN: 978-80-254-8906-2
Druh: STAŤ VE SBORNÍKU
Jazyk publikace: cze
Anglický název: Study of physical properties of doping ZnO thin films for photovoltaic application
Rok vydání: 2010
Místo konání: Brno
Název zdroje: Czech RE Agency
Autoři: Ing. Marie Netrvalová , Soňa Flickyngerová , Ing. Lucie Prušáková , Ivan Novotný , Vladimír Tvarožek , Doc. RNDr. Pavol Šutta Ph.D.
Abstrakt CZ: Oxid zinečnatý (ZnO) patří k základním materiálům současných křemíkových solárních článků na bázi tenkých vrstev. Slouží jako transparentní vodivá elektroda na povrchu článku a rovněž jako reflexní vrstva uvnitř článku. Tento příspěvek pojednává o vlivu depozičních parametrů (poloha při depozici, teplota podložky během depozice) a leptání po depozici na fyzikální vlastnosti tenkých vrstev ZnO připravených diodovým naprašováním. Cílem této práce je zlepšení optických a elektrických vlastností tenkých vrstev ZnO. Zkoumán byl vliv struktury (napětí ve vrstvách, velikost krystalitů), optických (šířka zakázaného pásu, index lomu, integrální propustnost) a elektrických (hlavně rezistivity) vlastností a vlastnosti povrchu vzorků, které byly při depozici odkloněné od horizontální polohy.
Abstrakt EN: Zinc oxide (ZnO) belongs to basic materials for present silicon thin films solar cells. ZnO is possible to use as transparent conductive electrodes on bottom of solar cells or as reflex layer inside this cell. This article is focused on influence of deposition parameters (position in deposition chamber, deposition temperature) and etching after deposition on physical properties of ZnO thin films deposited by diode sputtering.
Klíčová slova

Zpět

Patička