Přejít k obsahu


Study of ZnO films grown with different dopants - physical properties and their comparison

Citace: [] PRUŠÁKOVÁ, L., NETRVALOVÁ, M., ŠUTTA, P. Study of ZnO films grown with different dopants - physical properties and their comparison. In ASDAM 2010. New York: IEEE Nuclear and Plasma Sciences Society, 2010. s. 179-182. ISBN: 978-1-4244-8572-7
Druh: STAŤ VE SBORNÍKU
Jazyk publikace: eng
Anglický název: Study of ZnO films grown with different dopants - physical properties and their comparison
Rok vydání: 2010
Místo konání: New York
Název zdroje: IEEE Nuclear and Plasma Sciences Society
Autoři: Ing. Lucie Prušáková , Ing. Marie Netrvalová , Doc. RNDr. Pavol Šutta Ph.D.
Abstrakt CZ: Propustné a elektricky vodivé oxidy (TCO) tenkých vrstev ZnO:Al, ZnO:Ga a ZnO:Sc, využívané v solárních článcích jako optoelektronické zařízení, byly deponovány rf magnetronovým naprašováním za použití keramického terče 98% ZnO/2% X2O3 (kde X je Al, Ga, Sc) v inertní atmosféře argonu. V tomto článku jsme se zaměřili na změny fyzikálních vlastností a jejich porovnání v závislosti na dopujících prvcích. Pro analýzu struktury, elektrických a optických vlastností tenkých vrstev TCO na skleněném substrátu byla použita rentgenová difrakce, čtyřbodová sonda a UV-Vis spektroskopie
Abstrakt EN: Transparent and electrically conductive (TCO) thin films of ZnO:Al, ZnO:Ga and ZnO:Sc, used in solar cells as well as optoelectronic devices, have been successfully deposited by rf magnetron sputter deposition using ZnO(98%)/X2O3 (2%) ceramic target, X = {Al, Ga, Sc}, in the inert atmosphere of argon. In this contribution we focused on the changes in physical properties and their comparison in dependence on doping element. The XRD analyses, four probe measurements and UV-VIS spectroscopy were applied to investigate the structure (texture, lattice stress, grain size), electrical (resistivity) and optical (transmittance, optical band gap) properties of TCOs on the glass substrates.
Klíčová slova

Zpět

Patička