Přejít k obsahu


Optical and structural characterization of inhomogeneities in a-Si:H to mc-Si transition

Citace: [] PRUŠÁKOVÁ, L., VAVRUŇKOVÁ, V., NETRVALOVÁ, M., MÜLLEROVÁ, J., ŠUTTA, P. Optical and structural characterization of inhomogeneities in a-Si:H to mc-Si transition. Vacuum, 2010, roč. 85, č. 4, s. 502-505. ISSN: 0042-207X
Druh: ČLÁNEK
Jazyk publikace: eng
Anglický název: Optical and structural characterization of inhomogeneities in a-Si:H to mc-Si transition
Rok vydání: 2010
Místo konání: Oxford
Název zdroje: Pergamon Press
Autoři: Ing. Lucie Prušáková , Ing. Veronika Vavruňková , Ing. Marie Netrvalová , Jarmila Müllerová , Doc. RNDr. Pavol Šutta Ph.D.
Abstrakt CZ: Tenké vrstvy a-Si:H s různou tloušťkou a mikrostrukturou byly deponovány za použití rf-PECVD využitím plazmy a vodíkem zředěným silanem. Struktura a optické vlastnosti byly studovány pomocí rentgenové difrakce, UV/Vis a Ramanovy spektroskopie. Spektrálně závislý index lomu, optické energie zakázaného pásu, extinkční koeficienty, fázový poměr a velikosti krystalitů byly určovány jako závislosti na zředění vodíkem (R = H2/SiH4). Zředění silanu vodíkem ukazuje růst nehomogenit během kterých se materiál mění z amorfního hydrogenizovaného křemíku (a-Si:H) do mikrokrystalického hydrogenizovaného křemíku (mc-Si:H). XRD analýza ukazuje, že vrstvy s R = 0 a R = 20 byly amorfní a homogenní, zatímco vrstvy se zředěním R = 40 a více byly mikrokrystalické sestávající se z křemíkových hydridů (Si4H) s uspořádáním na střední vzdálenost a mikrokrystalický fází s různou velikostí krystalitů, což dokázala také Ramanova spektroskopie.
Abstrakt EN: The a-Si:H ?lms with different thickness and microstructure have been deposited with rf-PECVD using a plasma of silane diluted with hydrogen. The structure and optical analysis were carried out by X-ray diffraction, UV/VIS and Raman spectroscopy. Spectral refractive indices, optical energy band gaps, extinction coef?cients, phases ratio and grain size were determined as a function of the hydrogen dilution (R = H2/SiH4). Hydrogen dilution of silane results in an inhomogeneous growth during which the material evolves from amorphous hydrogenated silicon (a-Si:H) to micro-crystalline hydrogenated silicon (mc-Si:H). XRD analysis indicated that ?lms with R = 0 and R = 20 were amorphous and homogeneous, while ?lms with R = 40 and higher were micro-crystalline consisting medium range ordered silicon hydride (Si4H) and mc-Si phases with different size of crystallites, which was con?rmed also by Raman spectroscopy.
Klíčová slova

Zpět

Patička