Přejít k obsahu


Annealing and recrystallization of ZnO thin films

Citace: [] BRUNCKO, J., NETRVALOVÁ, M., ŠUTTA, P., VINCZE, A., HAŠKO, D., UHEREK, F. Annealing and recrystallization of ZnO thin films. In Proceedings of the 16th International conference on Applied physics of condensed matter. Bratislava: Slovak University of Technology in Bratislava, 2010. s. 264-267. ISBN: 978-80-227-3307-6
Druh: STAŤ VE SBORNÍKU
Jazyk publikace: eng
Anglický název: Annealing and recrystallization of ZnO thin films
Rok vydání: 2010
Místo konání: Bratislava
Název zdroje: Slovak University of Technology in Bratislava
Autoři: Jaroslav Bruncko , Ing. Marie Netrvalová , Doc. RNDr. Pavol Šutta Ph.D. , Andrej Vincze , Daniel Haško , František Uherek
Abstrakt CZ: Oxid zinečnatý je přímý polovodič s širokým zakázaným pásem, který krystalizuje v hexagonální (B4) wurzitové struktuře. V extrémních podmínkách se během depozice může vytvořit struktura kubické soli nebo amorfní fáze. Relativně vysoká teplota tavení (1975°C) poskytuje široký interval teplot pro žíhání a částečné teplotní modifikace původní struktury a fyzikálních vlastností. Příspěvek se zabývá tenkými vrstvami ZnO deponovanými pulzní laserovou depozicí (PLD) v kryogenní teplotě a poté žíhanými. Cílem prezentované práce je vyšetřit dynamiku rekrystalizace ZnO v závislosti na různých žíhacích podmínkách.
Abstrakt EN: Zinc oxide (ZnO) is a direct, wide band-gap semiconductor material which crystallizes in the hexagonal (B4) wurzite structure. Under certain extreme conditions it exhibits cubic rocksalt or amorphous phases. The relatively high melting temperature (1975°C) provides wide interval of temperature for annealing and subsequent thermal modification of inner structure and physical properties. The article deals with ZnO films prepared by pulsed laser deposition (PLD) under cryogenic temperatures and subsequently annealed. The aim of the presented work was investigate the recrystallization dynamics of ZnO according to different annealing conditions.
Klíčová slova

Zpět

Patička