Přejít k obsahu


Change of optical properties of a-Si:H films in dependence on different material structure

Citace: [] PRUŠÁKOVÁ, L., VAVRUŇKOVÁ, V., NETRVALOVÁ, M., MÜLLEROVÁ, J., ŠUTTA, P. Change of optical properties of a-Si:H films in dependence on different material structure. In 5. Česká Fotovoltaická Konference. Brno: Czech RE Agency, 2010. s. 30-35. ISBN: 978-80-254-8906-2
Druh: STAŤ VE SBORNÍKU
Jazyk publikace: eng
Anglický název: Change of optical properties of a-Si:H films in dependence on different material structure
Rok vydání: 2010
Místo konání: Brno
Název zdroje: Czech RE Agency
Autoři: Ing. Lucie Prušáková , Ing. Veronika Vavruňková , Ing. Marie Netrvalová , RNDr. Jarmila Müllerová PhD. , Doc. RNDr. Pavol Šutta Ph.D.
Abstrakt CZ: Vrstvy amorfního (a-Si:H) a mikrokrystalického (μc-Si:H) křemíku byly připraveny kombinací plasmou podpořené chemické depozice z plynné fáze s použitím depoziční aparatury SAMCO PD-220N a krystalizací v průběhu vysokoteplotního ohřevu s isotermálním režimem v rozmezí teplot od 580°C do 620°C. Strukturní vlastnosti vytvořených křemíkových vrstev byly sledovány ve vysokoteplotní komoře AP 1200 při "in situ" rentgenové difrakční analýze. Experiment ukazuje průběh fázově transformace z amorfní do mikrokrystalické fáze. Optické vlastnosti (absorpční koeficient, index lomu) byly získány analýzou transmitančních spekter naměřených pomocí UV-Vis spektrofotometru.
Abstrakt EN: Amorphous hydrogenated silicon (a-Si:H) and microcrystalline silicon (μc-Si:H) thin films were prepared by combination of plasma enhanced chemical vapour deposition (PECVD) technology using the SAMCO PD-220N unit and crystallization process during isotermal heat treatment at remperatures in the range of 580°C to 620°C. Structural properties of the Si films were studied by X-ray diffraction (XRD) and Raman spectroscopy. Evaluation of crystallization process was monitored in a high temperature chamber AP1200 by using "in-situ" XRD. The experiment has given the information about phase transformation from the amorphous to microcrystalline phase. Optical properties such as optical absorption coefficients and refractive indices were determined from transmittance spectra collected by UV-Vis spectrophotometry.
Klíčová slova

Zpět

Patička