Přejít k obsahu


XRD real structure characterization of sputtered Au films different in thickness

Citace: [] ŘÍHA, J., ŠUTTA, P., SIEGEL, J., KOLSKÁ, Z., ŠVORČÍK, V. XRD real structure characterization of sputtered Au films different in thickness. 2010.
Druh: PŘEDNÁŠKA, POSTER
Jazyk publikace: eng
Anglický název: XRD real structure characterization of sputtered Au films different in thickness
Rok vydání: 2010
Autoři: Ing. Jan Říha , Doc. RNDr. Pavol Šutta Ph.D. , Ing. Jakub Siegel , Ing. Zdeňka Kolská Ph.D. , Prof. Ing. Václav Švorčík DrSc.
Abstrakt CZ: Tneké zlaté vrstvy byly připraveny DC plasmovým naprašováním v Ar atmosféře na skleněný substrát s různými depozičními časy. Na experimentálních vzorcích s tloušťkami od 10 do 90 nm byla provedena RTG sttrukturní difrakční analýza pro sledování změn reálné struktury v závislosti na tloušťce vrstvy. RTG difrakční analýza zahrnovala výpočet mřížkových parametrů, bixiálních napětí a velikosti krystalitů a mikrodeformací. Dále bylo provedeno také jednoduché vyhodnocení přednostní orientace krystalitů kolmých k povrchu vzorků s použitím integrálních intenzit dvou nejsilnějších difrakčních linií. Výsledky ukazují silnou závislost všech parametrů na na tloušťce zlatých vrstev. velikost krystalitů lineárně roste se zvyšující se tloušťkou vrstvy, zatímco mřížkový parametr se zmenšuje. Průběh mikrodeformací a biaxiálních napětí se rapidně mění s rostoucí tloušťkou vrstev díky relaxaci struktury.
Abstrakt EN: The thin gold films were prepared by DC plasma sputtering in argon atmosphere on glass substrates with different sputtering times. On experimental samples with thicknesses from 10 to 90 nm the XRD structural analysis was carried out in order to observe the real structure changes in dependence on the film thickness. The XRD analysis included calculation of lattice parameters, biaxial stress and size of the crystallites and micro-strains. A simple evaluation of preferred orientation of crystallites perpendicular to the sample surface using the integral intensities ratio of two strongest diffraction lines was also performed. The results show strong dependence of all parameters on thickness of Au films. The size of the crystallites is linearly increasing with growing film thickness whereas the lattice parameter is decreasing. The course of micro-strain and biaxial lattice stress is rapidly changing with increasing thickness of gold films due to relaxation of the structure.
Klíčová slova

Zpět

Patička