Přejít k obsahu


Annealing and recrystallization of amorphous ZnO thin films deposited under cryogenic conditions by pulsed laser deposition

Citace: [] BRUNCKO, J., VINCZE, A., NETRVALOVÁ, M., ŠUTTA, P., HAŠKO, D., MICHALKA, M. Annealing and recrystallization of amorphous ZnO thin ?lms deposited under cryogenic conditions by pulsed laser deposition. Thin Solid Films, 2011, roč. 520, č. 2, s. 866-870. ISSN: 0040-6090
Druh: ČLÁNEK
Jazyk publikace: eng
Anglický název: Annealing and recrystallization of amorphous ZnO thin ?lms deposited under cryogenic conditions by pulsed laser deposition
Rok vydání: 2011
Místo konání: Amsterdam
Název zdroje: Elsevier
Autoři: Jaroslav Bruncko , Andrej Vincze , Ing. Marie Netrvalová , Doc. RNDr. Pavol Šutta Ph.D. , Daniel Haško , Miroslav Michalka
Abstrakt CZ: Tento článek se zabývá žíháním amorfních tenkých vrstev ZnO připravených pulsní laserovou depozicí (PLD)v kryogenních podmínkách. Substrátový držák byl chlazen tekutým dusíkem. K potvrzení amorfní struktury vrstev v původním stavu byla použita XRD analýza, SEM analýza ukazovala jemnozrnný povrch a vnitřní strukturu. Žíhací teploty byly v rozmezí 200 - 800 °C a po jejich aplikaci se ukázal přechod struktury z amorfní do polykrystalické. Různé vlastnosti byly nalezeny v závisloti na rekrystalizační teplotě.
Abstrakt EN: This article deals with the annealing of amorphous ZnO thin films prepared by pulsed laser deposition (PLD) under cryogenic conditions. The substrate holder was cooled by liquid nitrogen. X-ray diffraction analysis evidenced that as-deposited films had amorphous structures: analysis by scanning electron microscopy (SEM) revealed their fine grained surface and inner structure. Annealing at temperatures in the range of 200 - 800 °C resulted in a transition in the thin film crystal structure from amorphous to polycrystalline. Various properties of the ZnO films were found depending on the recrystallization temperature. In depth investigations employing SEM, X-ray diffraction, atomic force microscopy and secondary ion mass spectroscopy provided comparisons of the recrystallizations of undoped ZnO thin films during the phase transition processes from amorphous to hexagonal wurtzite structures.
Klíčová slova

Zpět

Patička