Přejít k obsahu


Determination of optical parameters of thin films from transmittance spectra

Citace: [] OČENÁŠEK, J., NETRVALOVÁ, M., ŠUTTA, P. Determination of optical parameters of thin films from transmittance spectra. In Proceedings of the 17th International Conference on Applied Physics of Condensed Matter. Žilina: University of Žilina, 2011. s. 110-113. ISBN: 978-80-554-0386-1
Druh: STAŤ VE SBORNÍKU
Jazyk publikace: eng
Anglický název: Determination of optical parameters of thin films from transmittance spectra
Rok vydání: 2011
Místo konání: Žilina
Název zdroje: University of Žilina
Autoři: Ing. Jan Očenášek Ph.D. , Ing. Marie Netrvalová , Doc. RNDr. Pavol Šutta Ph.D.
Abstrakt CZ: Metoda představená v tomto článku byla vytvořena pro analýzu TCO vrstev (transparentních vodivých oxidů), také pro vzorky skandium dopovanými tenkými vrstvami oxidu zinečnatého (ZnO:Sc), které jsou slibným materiálem pro aplikace v tenkovrstvých solárních článcích a v různých optoelektronických zařízeních. Vzorky byly vytvořené rf magnetronovým naprašováním zařízením s elektronovým svazkem a naprašovacím systémem BOC Edwards TF 600. Transmitanční spektra byla měřena na dvoupaprskovém UV/Vis spektrofotometru SPECORD 210 v jeho maximálním měřícím rozsahu 190 - 1100 nm.
Abstrakt EN: Method introduced in this paper was developed to analyse TCO films (Transparent Conductive Oxides), particularly samples of scandium doped zinc oxide (ZnO:Sc) thin films, which is a promising material for application in thin film photovoltaic cells and various optoelectronic devices. Samples were prepared by the rf magnetron sputtering using a BOC Edwards TF 600 electron beam and sputtering system. Transmittances spectra were measured by using UV/Vis double-beam spectrophotometer SPECORD 210 in its maximal wave range of 190 ? 1100 nm.
Klíčová slova

Zpět

Patička