Přejít k obsahu


Optical properties of amorphous hydrogenated and microcrystalline silicon films prepared by plasma enhanced chemical vapor deposition and re-crystallized at moderate temperatures

Citace: [] NETRVALOVÁ, M., PRUŠÁKOVÁ, L., MÜLLEROVÁ, J., ŠUTTA, P. Optical properties of amorphous hydrogenated and microcrystalline silicon films prepared by plasma enhanced chemical vapor deposition and re-crystallized at moderate temperatures. Physica Status Solidi C, 2011, roč. 8, č. 9, s. 2680-2683. ISSN: 1610-1642
Druh: ČLÁNEK
Jazyk publikace: eng
Anglický název: Optical properties of amorphous hydrogenated and microcrystalline silicon films prepared by plasma enhanced chemical vapor deposition and re-crystallized at moderate temperatures
Rok vydání: 2011
Místo konání: Weinheim
Název zdroje: Wiley
Autoři: Ing. Marie Netrvalová , Ing. Lucie Prušáková , Jarmila Müllerová , Doc. RNDr. Pavol Šutta Ph.D.
Abstrakt CZ: Tenké vrstvy amorfního hydrogenizovaného křemíku s různými tloušťkami ( 600 až 2400 nm) byly deponovány plazmou podpořenou chemickou depozicí na skleněné substráty při teplotě 250 °C v atmosféře 10 % silanu a 90 % argonu. Vrstvy byly postupně isotermicky ohřávány ve vysokoteplotní vakuové komoře při tlaku 0,1 Pa a teplotách od 580 do 620 °C. Byla hodnocena struktura a optické vlastnosti vrstev pomocí rentgenové difrakce, Ramanovy spektroskopie a optické spektrofotometrie. Zjišťovány byl krystalický stav (amorfní/mikrokrystalický), optická šířka zakázaného pásu, index lomu, extinkční koeficient a absorbční koeficient.
Abstrakt EN: Amorphous hydrogenated silicon films different in thickness (600 - 2400 nm) were deposited by plasma enhanced chemical vapour deposition on Corning glass substrates at 250 °C using silan 10 % / argon 90 % gas mixture. The samples were consequently isothermally heated in a high temperature vacuum chamber at 0.1 Pa and at temperatures from 580 to 620 °C. In order to evaluate structural and optical properties of the films X-ray diffraction analysis, Raman spectrometry and optical spectrophotometry were used. Crystalline state (amorphous or microcrystalline), optical band gaps, refractive indices, extinction coefficients, absorption coefficients were determined.
Klíčová slova

Zpět

Patička