Přejít k obsahu


Predicting μc-Si:H crystal orientation from Raman measurement under polarized light

Citace: [] AGBO, S., SWAAIJ, R., ZEMAN, M., ŠUTTA, P. Predicting ?c-Si:H crystal orientation from Raman measurement under polarized light. Physica Status Solidi C, 2010, roč. 7, č. 3-4, s. 708-711. ISSN: 1610-1642
Druh: ČLÁNEK
Jazyk publikace: eng
Anglický název: Predicting ?c-Si:H crystal orientation from Raman measurement under polarized light
Rok vydání: 2010
Místo konání: Weinheim
Název zdroje: Wiley
Autoři: S. N. Agbo , R.A.C.M.M. van Swaaij , Miro Zeman , Doc. RNDr. Pavol Šutta Ph.D.
Abstrakt CZ: Určování dominantní krystalové orientace je velmi důležité kvůli růstovému mechanismu hydrogenizovaného mikrokrystalického křemíku (?c-Si:H). Nicméně pro tyto účely jsou většinou techniky časově náročné, drahé a destruktivní. V tomto příspěvku je prezentován nový přístup pro určení krystalové orientace v ?c-Si: H z Ramanových spekter. Ramanovy měření byly použity při různých úhlech k polarizaci série vzorků různých krystalických objemových frakcí (FC), který zahrnuje přechod z amorfní do režimu mikrokrystalického křemíku. Za prvé, závislost intenzity Ramanova 520 cm-1 do vrcholu v úhlu polarizace se měří na [100] [110] a [111] single-krystalické křemíkové wafery.
Abstrakt EN: The determination of the dominant crystal orientation is of great importance in gaining insight into the growth mechanisms of hydrogenated microcrystalline silicon (?c-Si:H). However, for this purpose most techniques are time-consuming, expensive and destructive. In this contribution, a new approach is investigated to determine crystal orientation in ?c-Si:H films from Raman spectrum. Raman measurements have been applied under varying polarization angles to a series of samples of varying crystalline volume fraction (fc) covering the transition from amorphous to microcrystalline silicon regime. First, the dependence of the Raman intensity of the 520 cm-1 TO peak on polarization angle is measured on [100], [110], and [111] single-crystalline silicon wafers.
Klíčová slova

Zpět

Patička