Přejít k obsahu


Transparent Zr-Al-O oxide coatings with enhanced resistance to cracking

Citace: [] MUSIL, J., SKLENKA, J., ČERSTVÝ, R. Transparent Zr-Al-O oxide coatings with enhanced resistance to cracking. Surface and Coatings Technology, 2012, roč. 206, č. 8-9, s. 2105-2109. ISSN: 0257-8972
Druh: ČLÁNEK
Jazyk publikace: eng
Anglický název: Transparent Zr-Al-O oxide coatings with enhanced resistance to cracking
Rok vydání: 2012
Místo konání: Amsterdam
Název zdroje: Elsevier
Autoři: Prof. Ing. Jindřich Musil DrSc. , Ing. Josef Sklenka , Ing. Radomír Čerstvý ,
Abstrakt CZ: Tento článek referuje o struktuře, transparentnosti a mechanických vlastnostech Zr-Al-O filmů s vyšším obsahem Zr než Al vyrobených pomocí reaktivního duálního magnetronového naprašování s DC pulzním zdrojem. Zvláštní pozornost je věnována vytváření transparentních Zr-Al-O vrstev v přechodovém režimu naprašování a jejich unikátním vlastnostem. Ukazuje se, že (i) transparentní Zr-Al-O filmy mohou být deponovány v přechodovém režimu naprašování s vysokou depoziční rychlostí a s relativně nízkou hodnotou výkonové hustoty na terči, (ii) Zr-Al-O filmy naprášené v přechodovém a oxidovém režimu naprašování vykazují relativně vysokou tvrdost, nízký efektivní Youngův modul, vysokou elastickou vratnost a zvýšenou odolnost proti praskání.
Abstrakt EN: The article reports on structure, transparency and mechanical properties of Zr?Al?O oxide thin films with higher content of Zr then Al produced by reactive DC pulse dual magnetron sputtering. Special attention is devoted to the formation of transparent Zr?Al?O oxide films in the transition mode of sputtering and their unique properties. It is shown that (i) the transparent Zr?Al?O films can be deposited in the transition mode of sputtering with a high deposition rate at relatively low value of the magnetron target power density, (ii) the Zr?Al?O films sputtered in the transition and oxides mode of sputtering exhibit relatively high hardness, low effective Young's modulus, high elastic recovery and an enhanced resistance to cracking.
Klíčová slova

Zpět

Patička