Přejít k obsahu


Resistivity measurement and conductivity type determination for semiconducting materials using a four-point probe

Citace: [] VAVRINSKY, E., PRUŠÁKOVÁ, L., TESAŘ, J., ŠUTTA, P., TVAROŽEK, V., BENKO, P. Resistivity measurement and conductivity type determination for semiconducting materials using a four-point probe. In Proceedings of the 17th International Conference on Applied Physics of Condensed Matter. Žilina: Univerzita v Žilině, 2011. s. 220-223. ISBN: 978-80-554-0386-1
Druh: STAŤ VE SBORNÍKU
Jazyk publikace: eng
Anglický název: Resistivity measurement and conductivity type determination for semiconducting materials using a four-point probe
Rok vydání: 2011
Místo konání: Žilina
Název zdroje: Univerzita v Žilině
Autoři: Erik Vavrinsky , Ing. Lucie Prušáková , Ing. Jiří Tesař , Doc. RNDr. Pavol Šutta Ph.D. , Vladimír Tvarožek , Peter Benko
Abstrakt CZ: Základní vlastnosti polovodičů, rezistivita a typ vodivosti, jsou kritické parametry jak pro výzkum materiálů, tak pro následnou výrobu. 4-bodové kolineární sondy mohou být použity jako vhodné experimentální zařízení k určení rezistivity i typu vodivosti. Použitím 4 sond se eliminují chyby způsobené odporem sond, šířením rezistence v každé sondě a odpory kontaktů mezi sondou a polovodičovým materiálem.
Abstrakt EN: Resistivity and conductivity type, fundamental properties of semiconductors, are critical parameters in both materials research and after fabrication. A 4-point collinear probe and the appropriate test equipment can be used to determine both resistivity and conductivity type. Using 4 probes eliminates errors due to the probe resistance, the spreading resistance under each probe, and the contact resistance between probe and the semiconductor material.
Klíčová slova

Zpět

Patička