Přejít k obsahu


Non-isothermal kinetics of phase transformations in magnetron sputtered alumina films with metastable structure

Citace: [] PROKŠOVÁ, Š., ZEMAN, P., BLAŽEK, J., ČERSTVÝ, R. Non-isothermal kinetics of phase transformations in magnetron sputtered alumina films with metastable structure. Osaka, Japonsko, 2012.
Druh: PŘEDNÁŠKA, POSTER
Jazyk publikace: eng
Anglický název: Non-isothermal kinetics of phase transformations in magnetron sputtered alumina films with metastable structure
Rok vydání: 2012
Autoři: Ing. Šárka Prokšová , Doc. Ing. Petr Zeman Ph.D. , Ing. Jakub Blažek , Ing. Radomír Čerstvý
Abstrakt CZ: Práce rozšiřuje doposud získané informace o vysokoteplotní stabilitě magnetronově naprašovaných tenkých vrstev Al2O3. Velká pozornost je věnována kinetice transformačních procesů, které vedou k vytvoření termodynamicky stabilní fáze Al2O3 během ohřevu na teplotu 1300 °C ve vzduchu.
Abstrakt EN: The present study extends knowledge in thermal stability of magnetron sputtered alumina thin films. Special attention is devoted to kinetics of transformation processes in alumina thin films leading finally to the formation of the thermodynamically stable alumina phase during non-isothermal annealing up to 1300 °C under air atmosphere.
Klíčová slova

Zpět

Patička