Přejít k obsahu


Properties of nanocrystalline Al-Cu-O films reactively sputtered by dc pulse dual magnetron

Citace: [] BLAŽEK, J., MUSIL, J., STUPKA, P., ČERSTVÝ, R., HOUŠKA, J. Properties of nanocrystalline Al-Cu-O films reactively sputtered by dc pulse dual magnetron. San Diego, USA, 2012.
Druh: PŘEDNÁŠKA, POSTER
Jazyk publikace: eng
Anglický název: Properties of nanocrystalline Al-Cu-O films reactively sputtered by dc pulse dual magnetron
Rok vydání: 2012
Autoři: Ing. Jakub Blažek , Prof. Ing. Jindřich Musil DrSc. , Ing. Petr Stupka , Ing. Radomír Čerstvý , Doc. Ing. Jiří Houška Ph.D.
Abstrakt CZ: Studie pojednává o vlivu přidávání mědi na mechanické a optické vlastnosti Al2O3 vrstev. Al-Cu-O vrstvy byly připraveny ve směsi Ar+O2 metodou reaktivního naprašování s využitím DC pulzního duálního magnetronu. Duální magnetron byl vybaven jedním hliníkovým terčem a jedním skládaným Al/Cu terčem. Množství Al a Cu ve vrstvách bylo měněno pomocí délky pulzu na skládaném Al/Cu terči. Přidání Cu významným způsobem ovlivňuje strukturu a mechanické vlastnosti Al2O3 vrstev. Je ukázáno, že (1) struktura Al-Cu-O vrstev se s přidáváním Cu mění z gamma-Al2O3 přes nanokrystalický Al-Cu-O tuhý roztok na CuAl2O4 spinel (2) Al-Cu-O vrstvy vykazují (i) poměrně vysokou tvrdost v rozmezí 15 GPa až 20 GPa, (ii) elastickou vratnost zvyšující se ze 67 % na 76% (iii) nízkou hodnotu Youngova modulu a (3) vysoce elastické Al-Cu-O vrstvy vykazují při indentačním testu s vysokou zátěží zvýšenou odolnost proti vzniku trhlin.
Abstrakt EN: The study reports on the effect of the addition of copper in the Al2O3 film on its mechanical and optical properties. The Al-Cu-O films were reactively co-sputtered using dc pulse dual magnetron in a mixture of Ar+O2. One magnetron was equipped with a pure Al target and the second magnetron with a composed Al/Cu target. The amount of Al and Cu in the Al-Cu-O film was controlled by the length of pulse at Al/Cu target. The addition of Cu in Al2O3 film strongly influences its structure and mechanical properties. It is shown that (1) the structure of Al-Cu-O film gradually varies with increasing Cu content from gamma-Al2O3 at 0 at.% Cu through (Al8-2x,Cu3x)O12 nanocrystalline solid solution to CuAl2O4 spinel structure, (2) the Al-Cu-O films exhibit (i) relatively high hardness H increasing from 15 GPa to 20 GPa, (ii) enhanced elastic recovery We increasing from 67% to 76% with increasing Cu content from 5 to 16 at.% Cu and (iii) low values of Young?s modulus, and (3) highly elastic Al-Cu-O films exhibit enhanced resistance to cracking during indentation test under high load.
Klíčová slova

Zpět

Patička