Přejít k obsahu


Effect of oxygen and nitrogen content on mechanical and tribological properties of Mo-N-O thin films

Citace: [] HROMÁDKA, M., NOVÁK, P., MUSIL, J., ČERSTVÝ, R., SOUKUP, Z. Effect of oxygen and nitrogen content on mechanical and tribological properties of Mo-N-O thin films. San Diego, USA, 2012.
Druh: PŘEDNÁŠKA, POSTER
Jazyk publikace: eng
Anglický název: Effect of oxygen and nitrogen content on mechanical and tribological properties of Mo-N-O thin films
Rok vydání: 2012
Autoři: Mgr. Martin Hromádka , Ing. Petr Novák , Prof. Ing. Jindřich Musil DrSc. , Ing. Radomír Čerstvý , Ing. Zbyněk Soukup Ph.D.
Abstrakt CZ: Příspěvek pojednává o přípravě tenkých Mo-N-O vrstev metodou reaktivního magnetronového naprašování v argon-kyslík-dusíkové atmosféře. Byl zkoumán vliv obsahu kyslíku a dusíku v plynné směsi na mechanické a tribologické vlastnosti Mo-N-O vrstev. Dále byla zkoumána korelace mezi mechanickými a tribologickými vlastnostmi. Bylo zjištěno, že (i) není výrazný rozdíl mezi tribologickými vlastnostmi delta-MoN a gama-MoN vrstev, (ii) přidání kyslíku do výboje vede k nárůstu koeficientu tření, (iii) tvrdost, efektivní Youngův modul a poměr tvrdosti a efektivního Youngova modulu, charakterizující odolnost vrstvy vůči plastické deformaci, narůstá s rostoucím množstvím dusíku ve vrstvě a (iv) depoziční rychlost MoN vrstev klesá s rostoucím parciálním tlakem dusíku.
Abstrakt EN: The paper reports on preparation of Mo-N-O thin films deposited by reactive magnetron sputtering in an argon-oxygen-nitrogen atmosphere. The effect of oxygen and nitrogen content in gas mixture on mechanical properties and tribological properties of Mo-N-O films were investigated in detail. Correlations between the mechanical and the tribological properties of the Mo-N-O film were also investigated. It was found that (i) there is no signifficant difference between the tribological behaviour of the delta-MoN and gamma-MoN films (ii) the addition of oxygen in discharge results in increase of the coefficient of friction (iii) hardness, effective Young´s modulus and the ratio between hardness and effective Young´s modulus, characterizing the resistance of film to plastic deformation, increases with increasing amount of nitrogen in film (iv) the deposition rate of the MoN film decreases with increasing partial pressure of nitrogen.
Klíčová slova

Zpět

Patička