Přejít k obsahu


Mechanical and tribological properties of magnetron sputtered Sn-Cu-O films

Citace: [] HROMÁDKA, M., MUSIL, J., ČERSTVÝ, R., SOUKUP, Z. Mechanical and tribological properties of magnetron sputtered Sn-Cu-O films. Garmisch-Partenkirchen, Německo, 2012.
Druh: PŘEDNÁŠKA, POSTER
Jazyk publikace: eng
Anglický název: Mechanical and tribological properties of magnetron sputtered Sn-Cu-O films
Rok vydání: 2012
Autoři: Mgr. Martin Hromádka , Prof. Ing. Jindřich Musil DrSc. , Ing. Radomír Čerstvý , Ing. Zbyněk Soukup Ph.D.
Abstrakt CZ: Příspěvek pojednává o mechanických a tribologických vlastnostech Sn-Cu-O vrstev připravených metodou reaktivního magnetronového naprašování. Byl zkoumán vliv množství mědi a teploty substrátu na strukturu, mechanické a tribologické vlastnosti Sn-Cu-O vrstev. Bylo zjištěno, že (i) Sn-Cu-O vrstvy deponované na vyhřívaný substrát vykazují vyšší tvrdost ve srovnání s vrstvami deponovanými na nevyhřátý substrát, (ii) všechny Sn-Cu-O vrstvy deponované při různých depozičních podmínkách vykazují nízké hodnoty otěru a (iii) s rostoucí vlhkostí použitou při tribologickém testu klesá frikce. Tribologická měření byla prováděna od pokojové teploty až po teplotu pětset stupňů Celsia.
Abstrakt EN: The paper reports on mechanical and tribological properties of Sn-Cu-O films reactively sputtered in an argon and oxygen mixture using a round magnetron. The magnetron is equipped with a Sn/Cu target composed of Sn plate fixed to the magnetron cathode by a Cu ring. The effect of Cu addition in the Sn-Cu-O oxide and the substrate temperature used in the film deposition on the structure, mechanical and tribological properties of Sn-Cu-O film were investigated in detail. It was found that (i) the Sn-Cu-O films deposited on heated substrates exhibit much higher hardness compared to those deposited on unheated substrates, (ii) all Sn-Cu-O films deposited under very different deposition parameters exhibit a low wear rate, (iii) increase in relative humidity of operation atmosphere used in tribological test decreases the coefficient of friction. The values of coefficient of friction and wear rate were measured from room temperature to five hundred degrees of Celsius.
Klíčová slova

Zpět

Patička