Přejít k obsahu


Microstructure Determination of mc-Si:H Films Analysing the Breadths of Diffraction and Spectral Lines of XRD, FTIR and Raman Spectroscopies

Citace: [] ŠUTTA, P., NETRVALOVÁ, M., PRUŠÁKOVÁ, L., CALTA, P., MÜLLEROVÁ, J. Microstructure Determination of mc-Si:H Films Analysing the Breadths of Diffraction and Spectral Lines of XRD, FTIR and Raman Spectroscopies. In Modelování a měření v energetice - Moderní technologie pro přeměnu energie. Plzeň: Vědeckotechnická společnost Škoda, 2012. s. 83-86. ISBN: neuveden
Druh: STAŤ VE SBORNÍKU
Jazyk publikace: eng
Anglický název: Microstructure Determination of mc-Si:H Films Analysing the Breadths of Diffraction and Spectral Lines of XRD, FTIR and Raman Spectroscopies
Rok vydání: 2012
Místo konání: Plzeň
Název zdroje: Vědeckotechnická společnost Škoda
Autoři: Doc. RNDr. Pavol Šutta Ph.D. , Ing. Marie Netrvalová , Ing. Lucie Prušáková , Ing. Pavel Calta Ph.D. , doc. RNDr Jarmila Müllerová Ph.D.
Abstrakt CZ: Mikrokrystalický křemík je velmi důležitý materiál pro tenkovrstvé solární články na bázi křemíku. Je velmi vhodný pro tandemové solární články za použití a-Si:H/?c-Si:H dvou- nebo třípřechodové technologie. Protože ?c-Si:H je směs amorfní a krystalické fáze, jsou fyzikální vlastnosti silně závislé na objemu krystalické fáze a vodíkového zředění ve vrstvách. Experimentální difrakční a spektrální čáry jsou konvolucí různých funkcí zahrnující instrumentální faktory a nedokonalosti vzorku. Vyšetřované vrstvy byly analyzovány pomocí čárového profilu rentgenové difrakční analýzy, Ramanovy a FTIR spektroskopie. Reálné strukturní parametry vrstev jsou v dobré shodě s výsledky z UV/Vis spektrometrie
Abstrakt EN: Microcrystalline silicon is very important material for silicon based thin-film solar cells. It is especially convenient for tandem silicon solar cells using a-Si:H/?c-Si:H double- or triple-junction technology. Because the ?c-Si:H is a composition of amorphous and crystalline phases, its physical properties are strongly influenced by the volume content of the crystalline phase and by the hydrogen content in the films. Experimental diffraction and spectral lines are the convolution of various functions arising from the instrumental factors and specimen imperfections. The films were investigated by X-ray diffraction, Raman and FTIR spectroscopies using the line profile analysis. Real structure parameters of the films (crystalline volume content, micro-strains, grain sizes, hydrogen content and distribution) carried out from the analysis indicated good agreement between the results from UV/Vis spectrophotometry
Klíčová slova

Zpět

Patička