Přejít k obsahu


Generátor napětí s piezoelektrickou ZnO vrstvou

Citace: [] PRUŠÁKOVÁ, L., KULHA, P., NOVÁK, P., BOUŘA, A., ŠUTTA, P. Generátor napětí s piezoelektrickou ZnO vrstvou. 2012.
Druh: PROTOTYP, FUNKČNÍ VZOREK
Jazyk publikace: cze
Anglický název: Voltage generator with piezoelectric ZnO layer
Rok vydání: 2012
Název zdroje: Západočeská univerzita v Plzni
Autoři: Ing. Lucie Prušáková Ph.D. , Ing. Pavel Kulha Ph.D. , Ing. Petr Novák Ph.D. , Ing. Adam Bouřa Ph.D. , Doc. RNDr. Pavol Šutta Ph.D.
Abstrakt CZ: Prezentujeme piezoelektrický generátor s aktivní vrstvou oxidu zinečnatého (ZnO). Piezoelektrický mikrogenerátor tvoří vrstva ZnO uložená mezi izolační vrstvy Al2O3 pokryté hliníkovými kontakty. Tato struktura byla vytvořena v depozičním systému BOC Edwards TF 600 kombinací RF (13.56 MHz) a DC magnetronového naprašování. Piezoelektrický generátor v uspořádání jednostranně vetknutého nosníku dosáhl maximálního napětí 1.25 V při rezonanční freqvenci 190 Hz.
Abstrakt EN: The piezoelectric generator with thin zinc oxide (ZnO) working layer is presented. The whole structure of piezoelectric cantilever beam generator is composed of ZnO layer in between of two Al2O3 insulating layers and aluminium contacts. Such structure was prepared by combination of RF (13.56 MHz radio frequency) and DC magnetron sputtering using BOC Edwards TF 600 coating system. The piezoelectric generator in single-sided cantilever beam configuration achieved maximum open-circuit voltage up to 1.25V at resonant frequency of 190 Hz.
Klíčová slova

Zpět

Patička