Přejít k obsahu


Mechanical and tribological properties of sputtered Mo-O-N coatings

Citace:
MUSIL, J., NOVÁK, P., HROMÁDKA, M., ČERSTVÝ, R., SOUKUP, Z., SAVKOVÁ, J. Mechanical and tribological properties of sputtered Mo-O-N coatings. Surface and Coatings Technology, 2013, roč. 215, č. 1, s. 386-392. ISSN: 0257-8972
Druh: ČLÁNEK
Jazyk publikace: eng
Anglický název: Mechanical and tribological properties of sputtered Mo-O-N coatings
Rok vydání: 2013
Název zdroje: Elsevier
Autoři: Prof. Ing. Jindřich Musil DrSc. , Ing. Petr Novák Ph.D. , Mgr. Martin Hromádka , Ing. Radomír Čerstvý , Ing. Zbyněk Soukup Ph.D. , Ing. Jarmila Savková
Abstrakt CZ: Mo-O-N vrstvy byly připraveny metodou reaktivního magnetronového naprašování v argon-kyslík-dusíkové atmosféře. Byl prozkoumán vliv obsahu kyslíku a dusíku v rozprašovacím plynu na mechanické a tribologické vlastnosti Mo-O-N vrstev a korelace mezi jejich mechanickými a tribologickými vlastnostmi. Bylo zjištěno, že (1) koeficient tření Mo-O-N vrstev dobře koreluje s mechanickými vlastnostmi, (2) otěr Mo-O-N vrstev téměř nezávisí na hodnotě efektivního Youngova modulu a je velice nízký ~ 0,15 × 10?(exp-6) mm(exp3)/Nm, (3) přidání kyslíku do Mo-N vrstev způsobuje nárůst koeficientu tření při pokojové teplotě, (4) koeficient tření Mo-N a Mo-O-N vrstev nejprve roste s rostoucí teplotou použitou při tribologickém testu a nad ~ 350 °C klesá (CoF ? 0,4 pro Mo-N a CoF ? 0,5 pro Mo-O-N).
Abstrakt EN: The article reports on mechanical and tribological properties of Mo-O-N coatings prepared by reactive magnetron sputtering using a continuous and pulsed inlet of oxygen and nitrogen. Main attention was devoted to a detailed investigation of correlations between the coating structure and its mechanical and tribological properties. It was found that (1) coefficient of friction (CoF) of the Mo-O-N coating correlates quite well with their hardness and effective Young's modulus and depends on its structure, (2) wear rate of the Mo-O-N coatings is almost independent on the value of effective Young's modulus and its value is very low of about ~0.15×10?(exp-6) mm(exp3)/Nm, (3) the incorporation of oxygen in the Mo-N coating increases its CoF at room temperature (RT), and (4) the CoF of both Mo-N and Mo-O-N coatings at first increases with increasing temperature and above ~ 350 °C decreases to the value of CoF of the as-deposited coating (CoF ? 0.4 and 0.5 for the Mo-N and Mo-O-N coatings, respectively).
Klíčová slova

Zpět

Patička